À ÄËÁÆÃÁ ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ç Ì ÀÆÇÄÇ Ô ÖØÑ ÒØ Ó Ñ Ð Ì ÒÓÐÓ Ý ÒØØ Âº Æ Ò Ò ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ Ç ËÁÄÁ ÇÆ ÁÇ Á ÌÀÁÆ ÁÄÅË Ì ÓÖ Ø Ö Ó Å Ø Ö Ó Ë Ò Ò Ì ÒÓÐÓ Ýº ÔÓÓ

Save this PDF as:
 WORD  PNG  TXT  JPG

Size: px
Start display at page:

Download "À ÄËÁÆÃÁ ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ç Ì ÀÆÇÄÇ Ô ÖØÑ ÒØ Ó Ñ Ð Ì ÒÓÐÓ Ý ÒØØ Âº Æ Ò Ò ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ Ç ËÁÄÁ ÇÆ ÁÇ Á ÌÀÁÆ ÁÄÅË Ì ÓÖ Ø Ö Ó Å Ø Ö Ó Ë Ò Ò Ì ÒÓÐÓ Ýº ÔÓÓ"

Transcription

1 À ÄËÁÆÃÁ ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ç Ì ÀÆÇÄÇ Ô ÖØÑ ÒØ Ó Ñ Ð Ì ÒÓÐÓ Ý ÒØØ Âº Æ Ò Ò ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ Ç ËÁÄÁ ÇÆ ÁÇ Á ÌÀÁÆ ÁÄÅË Ì ÓÖ Ø Ö Ó Å Ø Ö Ó Ë Ò Ò Ì ÒÓÐÓ Ýº ÔÓÓ ½ ÖÙ ÖÝ ¾¼¼¾ ËÙÔ ÖÚ ÓÖ ÈÖÓ ÓÖ Ä ÙÖ Æ Ò Ø ÁÒ ØÖÙØÓÖ Ë Ñ Ö Ò Ð È º º

2 ÈÖ Ì Ø Û ÔÖ Ô Ö Ø Ø Ð ØÖÓÒ È Ý Ä ÓÖ ØÓÖÝ Ó À Ð Ò ÍÒ ¹ Ú Ö ØÝ Ó Ì ÒÓÐÓ Ý ØÛ Ò ÖÙ ÖÝ ¾¼¼½ Ò ÖÙ ÖÝ ¾¼¼¾º ÅÙ ÛÓÖ Û Ð Ó ÓÒ Ò Ø Ý Ö ¾¼¼¼ Ø Ø ÒÒ Ò Ó Û Á Û Ú ÖÝ ÑÙ Ý Ó Ò Ò ØÖ ÖÓÑ ÑÝ ÛÓÖ ÓÒ ÔÓÖÓÙ Ð ÓÒ ØÓ Ø Ù Ø Ó Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒº Ò Ø Û Ö Ø Ø ÔÔÝ Ó Ò Ò Ò ÐÐÝ Ð ØÓº ÐÓÒ Ø Û Ý Á Û Ð Ø Ý Ø ÓÔÔÓÖØÙÒ ØÝ ØÓ ØØ Ò ÑÝ Ö Ø Ú Ö ÒØ ÖÒ Ø ÓÒ Ð ÓÒ Ö Ò Ø Å ÖÓ Ò Æ ÒÓ Ò Ò Ö Ò ¾¼¼¼ Ð Ò Â Ò ÖÑ Òݺ Ä ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ ÑÓÖ Ô ÐÐÝ Ñ Ö Ú Ö Ð Ý Ø Ø Ñ Ø Ó µ Û Ð Ó Ø Ù Ø Ó ÑÝ ÔÓ Ø Ö ÔÖ ÒØ Ø ÓÒ Ø Ö º Á ÛÓÙÐ Ð ØÓ Ø Ò ÈÖÓ ÓÖ Ä ÙÖ Æ Ò Ø ÓÖ ÔÖÓÓ Ö Ò Ø Ñ ÒÙ Ö ÔØ Ò ÓÖ Ú ÐÙ Ð Ù Ø ÓÒ Ö Ö Ò Øº Ì Ò Ð Ó ØÓ ÑÝ ÖÓØ Ö Ë ÑÔÓ ÓÖ Ø Ñ º ÙØ ÑÓ Ø Ó ÐÐ Á Û ÒØ ØÓ Ø Ò Ø Ø Ó Ø Ð ØÖÓÒ È Ý Ä ÓÖ ØÓÖÝ Ò Ø Å ÖÓ Ð ØÖÓÒ ÒØ Ö Ô ÐÐÝ Öº Ë Ñ Ö Ò Ð ÓÖ Ø Ö ÐÔ Ò ÒÓÙÖ Ñ ÒØ Ø ÖÓÙ ÓÙØ Ø ÛÖ Ø Ò Ó Ø Ø º ÔÓÓ ½ ÖÙ ÖÝ ¾¼¼¾ ÒØØ Âº Æ Ò Ò

3 Ì ÃÆÁÄÄÁÆ Æ ÃÇÊà ÃÇÍÄÍ Ã Ñ Ò Ø Ò Ò Ó ØÓ ÁÈÄÇÅÁÌ Æ ÌÁÁÎÁËÌ ÄÅ Ì È ÚÝ ÒØØ Âº Æ Ò Ò ½ º ¾º ¾¼¼¾ Ë ÚÙÑÖ Ú ÌÝ Ò Ò Ñ È Ó Ó ÙØ ÐÚÓ Ò Ú ØÙ Ò Ø Ñ Ò Ø ÐÑÐÐ ÈÖÓ ÙÙÖ ÔÓÖ Ò Ò Ò Ñ ÌÝ Ò Ú ÐÚÓ ÈÖÓ ÓÖ Ä ÙÖ Æ Ò Ø ÌÝ Ò Ó Ì Ë Ñ Ö Ò Ð ÃÓÓ Ã Ñ¹ Ì ÔÐÓÑ ØÝ ØÙØ ØØ Ò Ô Ó Ó ÙØ ÐÚÓ Ò Ú ØÙ Ø Ò Ø Ø Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ ÄÈ µº ÃÝ ÓÒ Ñ Ø Ð Ò ÐÑÔ Ø Ð Ò ÔÖÓ Ó Ô ¹ Ó Ú ÙÓÖÓÔ ÔÔÓ¹ H 2 Si 6 µ ÔÓ Ø Ð ÙÓ Ø º ÌÝ ØÙع ØØ Ò Ô Ó Ò ÚÙ Ô Ò Ñ Ø ÐÐ Ò ÑÙ Ò ÔÙÓÐ Ó ÔÖÓ Ó ÒÒ Ý¹ Ø ØØÚ Ò Ñ Ø Ö Ð Ò Ô ÒÒ ÐÐ ÚÙÒÓÔ Ù Ò Ö ÔÔÙÚÙÙØØ Ú ØÙ Ð ÙÓ Ò ÓÓ ØÙÑÙ Ø ÐÑÔ Ø Ð Ø Ú ÐÑ ØÙ Ñ Ò Ø ÐÑ Øº Ã Ú Ø ØØÙ Ò ÐÚÓ Ò Ô ÙÙ Ø Ø ÖÖÓ Ò ÑÖ Ø ØØ Ò ÐÐ Ô ÓÑ ØÖ Ø º à ÐÚÓÒ ØÚÝÝØØ ØÙØ ØØ Ò Ñ ÐÐ Ò Ý ÚÝØÝ Ó Ò Ú ÖÖ ØØ Ò Ø ÖÑ Ø Ú Ø ØØÙ ¹ Ò Ô Ó Ó ÙØ ÐÚÓ Òº Å Ø ÐÐ ¹Ó ¹ÔÙÓÐ Ó ¹ Ñ Ø Ð¹ÓÜ ¹ Ñ ÓÒ ÙØÓÖ ÅÇ˵ ÓÒ Ò ØØÓÖ Ö ÒØ Ø Ñ Ø ØØ Ò Ú Ø ØÙÒ Ó Ò ÓÑ Ò ÙÙ ¹ º ÌÝ Ø ØÒ ÑÝ ÚÙÒÓÔ Ù Ò ÒÒ ÐØ Ú ØÙ Ð ÙÓ Ò ÓÔØ Ñ Ð Ò Ò ÓÓ ¹ ØÙÑÙ ÓÐÐ Ú Ø ØÙØ ÐÚÓØ ÓÚ Ø Ö ØØ Ò Ø Ò Ò Ø Ø ÖÖÓ Ò ÔÓ Ú Ò Ú Ò Ø ÖÑ Ò Ó Ò Ø Ø ÖØÓ Ñ Ø º Ç Ò Ý ÔÝÑ ÒÓÔ Ù Ð Ñ ÙÓÖ Ú ØÝ ÔÔÓÐ ÙÓ ÓÒ Ù Ø Ò Ò ÙÓÑ ØØ Ú Ø ÙÙÖ ÑÔ Ù Ò Ø ÖÑ Ò Ó ¹ Òº È Ù Ò ÐÚÓ Ò Ú ØÙ Ú ØØ Ò Ò Ð ÐÐ Ô Ó Ð Ó ØÙ Ú ØÙ Ð ÙÓ Ù Ò ØÙÒÒ Ò Ú ØÙ Ò Ð Òº ÄÓÔÙ Ø ØÒ ÙÙ ÒÐ Ò Ò Ñ ÒÚ ÐÑ ØÙ Ñ Ò Ø ÐÑ ÓÐÐ ÚÓ Ò ØÙÓØØ ÐÐ Ñ ÖÓÑ ØÖ ÐÙÓ Ò Ö ÒØ Ø Ø Ú ÐÐ Ø ÓÑÔ Ò Ö ÒØ Ò Ö Ó ØØÙÚ Ò ÓÔØ Ò Ñ Ò Ø ÐÑ Òº Å Ò Ø ÐÑ Ô ÖÙ ØÙÙ Ú ÐÓØØ Ñ ÐÐ ÙÚ Ó ÙÒ ÓØÓÖ Ø Ñ Ò Ó ÒØ ¹ Ñ Ò ÔÔ ÔÐ Ñ Ò Ò ÙÒ ÙÚ ÓÒ ÒØÑ Ò Ò Ø Ú ØÙ Ò Ð Ø Ú ÝÝØØ Ý ÝÒØ Òº

4 À ÄËÁÆÃÁ ÍÆÁÎ ÊËÁÌ Ç Ì ÀÆÇÄÇ Ô ÖØÑ ÒØ Ó Ñ Ð Ì ÒÓÐÓ Ý ËÌÊ Ì Ç Å ËÌ Ê³Ë ÌÀ ËÁË ÙØ ÓÖ ÒØØ Âº Æ Ò Ò Ø È Ì ØÐ Ó Ø Ä ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ð ÓÒ ÓÜ Ø Ò ÐÑ ½ ÖÙ ÖÝ ¾¼¼¾ Ú Ö ÁÒÓÖ Ò Ñ ØÖÝ ËÙÔ ÖÚ ÓÖ ÈÖÓ ÓÖ Ä ÙÖ Æ Ò Ø ÁÒ ØÖÙØÓÖ Ë Ñ Ö Ò Ð È º º Ö Ó Ã Ñ¹ Ì Ø Ü Ñ Ò Ø ÔÖÓ Ó Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ ÄÈ µ Ó Ð ÓÒ ÓÜ ÐÓÛ¹Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ ÓÖ ÔÓ Ø Ò Ð ÓÒ ÓÜ Ø Ò ÐÑ ÖÓÑ Ü ÙÓÖÓ¹ Ð H 2 Si 6 µ ÓÐÙØ ÓÒº Ì ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ð ÓÒ ÓÜ ÓÒ Ð ÓÒ Ñ Ø Ð Ò ÓØ Ö Ñ Ø Ö Ð Ù Ò Ñ ÓÒ ÙØÓÖ ÔÖÓ Ò ØÙ Û ÐÐ Ø Ô Ò Ò Ó Ø ÐÑ ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÓÒ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑÔÓ Ø ÓÒ ÔÖ Ô Ö Ø ÓÒ Ñ Ø Ó Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ º Ì Ø Ò Ò Ö Ö Ø Ú Ò Ó ÔÓ Ø ÐÑ Û Ö Ñ ÙÖ Ý ÐÐ Ô¹ ÓÑ ØÖݺ Ì Ñ Ð Ö Ø Ò Ó Ø ÐÑ Û ÒÚ Ø Ø Ý Ø Ò Ø Ø Ò ÓÑÔ Ö ØÓ Ø Ø Ó Ø ÖÑ ÐÐÝ ÖÓÛÒ Ð ÓÒ ÓÜ º Å Ø Ð¹ÓÜ ¹ Ñ ÓÒ ÙØÓÖ ÅÇ˵ Ô ØÓÖ ØÖÙØÙÖ Û Ö Ö Ø Ò Ñ ÙÖ ØÓ Ø ÖÑ Ò Ø Ð ØÖ ¹ Ð ÔÖÓÔ ÖØ Ó Ø ÓÜ º Ì ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ö Ò ÓÔØ Ñ Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ð Ó ÔÖ ¹ ÒØ Ò Ø ÛÓÖ º ÐÑ Ø Ù ÖÓÛÒ Û Ö ÓÙÒ ØÓ ÜØÖ Ñ ÐÝ ÙÒ ÓÖÑ Ò Ø Ö Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ö ÓÒÐÝ Ð ØÐÝ ÖÓÑ Ø Ø Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ º Ì Ø Ö Ø Ó Ø ÔÓ Ø ÓÜ ÓÛ Ú Ö Ò ÒØÐÝ Ö Ø Ö Ø Ò Ø Ø Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ º Ì ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø ÓÜ Ð Ý Ö Û ÓÙÒ ØÓ ÙÐØ Ò Ð ÓÒ ÓÜ Ò ØÓ ÔÖ Ô Ø Ø Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ö Ú Ö Ð ÓÙÖ Ó ÔÓ Ø ÓÒº Ò ÐÐÝ ÒÓÚ Ð Ñ ¹ ÓÖÑ Ø ÓÒ Ø Ò ÕÙ ÓÖ Ô Ù ¹Ñ ÖÓÒ Ð Ö ¹ Ð ØÖÙ¹ ØÙÖ ØÖ Ò Ò ÓÐ µ ÑÓÒ ØÖ Ø ÙØ Ð Þ Ò Ø Ð Ø Ú Ò ØÙÖ Ó Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒº Ä Ø¹ Ð Ô ÓØÓÖ Ø Ô ØØ ÖÒ Ð Ò Ò ÓØ µ Ñ ÐÐ Ö Ø Ò Û Ø ÔÓ Ð Ý ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÓÔØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ý ÐÓÒ Ö Ö Ø Ý Ø Ò Ò ÓÜݹ Ò ÔÐ Ñ º Ì Ñ Ø Ò Ö Ú Ö Ý Ð Ø Ú Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ð ÓÒ ÓÜ º Ú

5 Ä Ø Ó Ö Ú Ø ÓÒ Ö Ú Ø ÓÒ ¹Ë À ÅÇË Î Á Ä Ê À ÁÊ Ä Ä ÄÈ Î ÄÈ ÅÇË È Î ÈÅÅ Ê ÊÁ Ñ Ë Å Ì ÇË Ì Ì Ì ¹ÄÈ ÍÎ ÈË Ê Å Ò Ò ÑÓÖÔ ÓÙ Ð ÓÒ Ù Ö À SiO 2 ¹ Ø ÓÐÙØ ÓÒµ ÓÑÔÐ Ñ ÒØ ÖÝ Ñ Ø Ð¹ÓÜ ¹ Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ñ Ð Ú ÔÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÙÖÖ ÒØ ¹ ÓÒ Þ Û Ø Öµ Ð ØÖÓÒ Ñ Ð Ø Ó Ö Ô Ý Ð ØÖÓÒ ÝÐÓØÖÓÒ Ö ÓÒ Ò ÀÝ ÖÓ ÙÓÖ ÁÒ Ö Ö Ä ÕÙ ÖÝ Ø Ð ÔÐ Ý Ä ØÐÝ ÓÔ Ö Ò ÄÓÛ ÔÖ ÙÖ Ñ Ð Ú ÔÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ Ä ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ Å Ø Ð¹ÓÜ ¹ Ñ ÓÒ ÙØÓÖ ÈÐ Ñ Ò Ò Ñ Ð Ú ÔÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ ÈÓÐÝÑ Ø ÝÐ Ñ Ø ÖÝÐ Ø Ê Ó Ö ÕÙ ÒÝ Ê Ø Ú ÓÒ Ø Ò ËØ Ò Ö Ù Ñ Ô Ö Ñ ÒÙØ Ë ÒÒ Ò Ð ØÖÓÒ Ñ ÖÓ ÓÔÝ Ì ØÖ Ø ÓÜÝ Ð Ò Ì Ò ÐÑ ØÖ Ò ØÓÖ Ì ÑÔ Ö ØÙÖ ¹ Ö Ò Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ ÍÐØÖ Ú ÓÐ Ø ¹Ö Ý Ô ÓØÓ Ð ØÖÓÒ Ô ØÖÓ ÓÔÝ ¹Ö Ý Ö Ø ÓÒ Ú

6 ÓÒØ ÒØ ÈÖ Ì Ú Ø ÐÑ ØÖ Ø Ä Ø Ó Ö Ú Ø ÓÒ Ú Ú ½ ÁÒØÖÓ ÙØ ÓÒ ½ ¾ ÇÜ ÖÓÛØ ÓÒ Ð ÓÒ ¾º½ Æ Ø Ú ÓÜ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º¾ Ì ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º ÈÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º Ñ Ð Ú ÔÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º È Ý Ð ÔÓ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ä ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ º½ Å Ò Ñ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º¾ ËÔ Ð ØÙÖ Ó ÄÈ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½½ º Å Ø Ó º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º Ö Ø Ö Þ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º½ ÖÓÛØ Ö Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º¾ Ê Ö Ø Ú Ò Ü º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º ÓÑÔÓ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º Ð ØÖ Ð Ö Ø Ö Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º ÔÔÐ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º½ Ì Ò ÐÑ ØÖ Ò ØÓÖ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º¾ ÓÒØ Ø ÓÐ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º ÅÇË º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º º ÈÐ Ò Ö Þ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾¼ ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð Ñ Ø Ó ¾ º½ Å Ø Ö Ð º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ º¾ ÕÙ ÔÑ ÒØ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ º ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖÓ ÙÖ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ º Ö Ø Ö Þ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ º ÅÇË Ô ØÓÖ ÔÖÓ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ Ú

7 ÇÆÌ ÆÌË Ú ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð Ö ÙÐØ ¾ º½ ÖÓÛØ Ö Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ º½º½ Ì Ø Ó Ø ÑÔ Ö ØÙÖ º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ º½º¾ Ì Ø Ó ÓÖ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º ¼ º½º Ì Ø Ó Û Ø Ö Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º½º Ì Ø Ó Ø Ò Ø Ð À 2 Ë 6 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ º º º º º º º ¾ º¾ ÐÑ Ö Ø Ö Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º¾º½ Ê Ö Ø Ú Ò Ü Ò Ø Ò ÙÒ ÓÖÑ ØÝ º º º º º º º º º¾º¾ Ø Ö Ø Ò À º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º¾º Ð ØÖ Ð Ö Ø Ö Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ë Ð Ø Ú ØÝ Ó ÔÓ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Å Ü ÑÙÑ Ø Ò Ó ÄÈ Ë Ç 2 º º º º º º º º º º º º º º º º º ÁÑ Ö Ú Ö Ð ¼ ÓÒÐÙ ÓÒ º½ Ê ÓÑÑ Ò Ö Ô ÓÖ Ë Ç 2 ÄÈ º º º º º º º º º º º º º º º º º¾ ÐÑ ÔÖÓÔ ÖØ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ë Ð Ø Ú ØÝ Ó ÔÓ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ÁÑ Ö Ú Ö Ð º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ì ÑÔ Ö ØÙÖ Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ÈÖÓ Ð Ñ Û Ø ÄÈ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ê Ö Ò Ø ÓÒ Ð ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð Ø ÇÜÝ Ò ÔÐ Ñ Ò ¾

8 ÔØ Ö ½ ÁÒØÖÓ ÙØ ÓÒ ÅÓ ÖÒ Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ð ØÖÓÒ ÐÑÓ Ø ÒØ Ö ÐÝ ÓÒ Ð ÓÒº ÇÒÐÝ Û Ò ÔÔÐ Ø ÓÒ Ù ÓØ Ö Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ñ Ø Ö Ð Ù ÐÐ ÙÑ Ö Ò Ò ÓÔØÓ Ð ØÖÓÒ º ÁØ Ø Ö ÓÖ Ò ØÙÖ Ð Ø Ø Ð ÓÒ ÓÜ ÐÓÒ Ò Ø ¹ ØÓ Ò ÙÐ ØÓÖ Ñ Ø Ö Ð Ò Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ú Ø ÐÝ ÓÖÑ ÓÒ Ð ÓÒ Ý ÑÔÐ Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒº ÐØ ÓÙ Ð ØÖ ÓÒ Ø ÒØ Ñ Ø Ö Ð Ö ÒÓÛ Ý Ò Ò ÑÔÓÖØ Ò Ð ÓÒ ÓÜ Ö Ñ Ò Ø ÑÓ Ø Û ÐÝ Ù Ð ØÖ º Ì ÑÔÓÖØ Ò Ó Ð ÓÒ Ò ÖÐÝ Ö ÒØ ÒÖ ÒÓØ ÓÒÐÝ Ò Ð ¹ ØÖÓÒ Ñ Ø Ö Ð ÙØ Ñ Ò Ð Ñ Ø Ö Ð Û Ðк ÁÒ Ø ÖÓÛ Ò Ð Ó Ñ ÖÓÑ Ò Ñ Ò Ð ØÖÙØÙÖ Ù Ð Ö Ø ÓÒ Ò ÓÖ ÔÖ ÙÖ Ò ÓÖ Ò Ø ÒÓÞÞÐ ÖÖ Ý Ò Ú Ò ÓÑÔÐ Ø Ò ØÖÙÑ ÒØ Ð ÖÓ¹ Ñ ØÓ Ö Ô Ö Ö Ø Ò Ñ ÖÓ ÓÔ Ñ Ò ÓÒ ½ º ËÙ Ú Ò Ø ÖÓÑ Ø Ñ Ò Ð ÔÖÓÔ ÖØ Ó Ð ÓÒ ÒÐÙ Ò Ø Ö Ò Ð Ø ÑÓ ÙÐÙ Ö Ø Ò ØÓ ÓÖÑ Ò ÙÒ Ö ØÖ µ Ò Ø Ò Ð ØÖ Ò Ø ¾ º ÅÓÖ ¹ ÓÚ Ö Ö Ø Ò Ò ÓÖ ÓÒ Ð ÓÒ Ó Ö Ø ÔÓ Ð ØÝ Ó º º ÒØ Ö Ø Ò Ò ÓÖ Ò Ø Ó Ø Ð ØÖÓÒ ÓÒ Ø Ñ Ôº ÙØ ÑÓ Ø ÑÔÓÖØ ÒØÐÝ Ð ÓÒ Ñ ÖÓÑ Ò Ö Ð ÓÒ Ø ÜØ Ò Ú ÒÓÛÐ Ó Ð ÓÒ ÔÖÓ Ò Ø ÒÓÐÓ Ý Û Ø Ó Ù Ò Ø Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ò Ù ØÖÝ ÔÖÓ¹ Ú º Ë Ð ÓÒ ÓÜ Ò Ù Ò Ñ ÖÓÑ Ò ÒÓØ ÓÒÐÝ Ò Ò ÙÐ ØÓÖ Ñ Ø Ö Ð ÙØ ØÖÙØÙÖ Ð Ñ Ø Ö Ð Ò Ù ÙÐ Ñ Ñ Ø Ö Ð ÓÖ Ð ÓÒ Ø Ò Û Ðк ÇÙØ Ó Ø ÔÖÓ Ó Ð ÓÒ ÓÜ ÓÖÑ Ø ÓÒ Ø ØÖ Ò Ø Ò Û Ò º ÅÓ Ø Ó Ø Ñ Ö ÕÙ Ö ÜÔ Ò Ú ÔÖÓ ÕÙ ÔÑ ÒØ Þ Ö ÓÙ Ò ÔÖÓ Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ º Ö Ð Ø Ú ÐÝ Ö ÒØ Ú ÐÓÔÑ ÒØ ÔÖÓ ÐÐ Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ ÄÈ µº Ì Ñ Ø Ó Ô ÐÐÝ ØØÖ ¹ Ø Ú Ù ØÓ Ø ÐÓÛ ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÐÓÛ¹Ó Ø ÕÙ ÔÑ ÒØ Ò ÐÝ Ò Ð Ñ Ø Ö Ð º Ì Ð Ø Ú Ò ØÙÖ Ó Ø ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖÓ Ñ Ý Ð Ó ÔÖÓÚ Ù ÙÐ Ò Ñ ÒÝ ÔÔÐ Ø ÓÒ º Ì Ø ÓÙ ÓÒ Ø ÖÓÛØ Ó Ð ÓÒ ÓÜ Ø Ò ÐÑ ÖÓÑ Ð ÕÙ Ô Ø ÔÖÓÔ ÖØ Ó Ø ÔÓ Ø ÐÑ Ò Ø Ö ÔÔÐ Ø ÓÒ º Ò ÓÚ ÖÚ Û Ó Ø ½

9 À ÈÌ Ê ½º ÁÆÌÊÇ Í ÌÁÇÆ ¾ ØÖ Ø ÓÒ Ð ÖÓÛØ Ñ Ø Ó Ó Ð ÓÒ ÓÜ Ø Ò ÐÑ Ú Ò Ò ÔØ Ö ¾ ÓÐÐÓÛ Ý Ö Ú Û Ó ÔÙ Ð ÛÓÖ ÓÒ Ø ÄÈ ÔÖÓ Ò ÔÔÐ Ø ÓÒ Ó ÄÈ ÓÜ Ò ÔØ Ö º Å Ø Ó Ù ÓÖ ÑÔÐ ÔÖ Ô Ö Ø ÓÒ Ò Ö ¹ Ø Ö Þ Ø ÓÒ Ò Ø ÛÓÖ Ö ÜÔÐ Ò Ò ÔØ Ö Ò Ö ÙÐØ Ö ÔÖ ÒØ Ò ÔØ Ö º ÒÓÚ Ð Ñ ¹ ÓÖÑ Ø ÓÒ Ø Ò ÕÙ ÓÖ Ù Ñ ÖÓÒ ØÙÖ ÔÖ ÒØ Ò ÔØ Ö º Ì Ñ Ò Ö ÙÐØ Ö Ù Ò Ø Ò Ð ÔØ Ö ÔØ Ö µº

10 ÔØ Ö ¾ ÇÜ ÖÓÛØ ÓÒ Ð ÓÒ Ë Ð ÓÒ ÓÜ Ò ÖÓÛÒ Ý Ú Ö Ð Ñ Ø Ó º ÇÒ Ö Ð ÓÒ Ù ØÖ Ø ÓÜ ÐÑ Ò ÓÖÑ Ý ÓÜ Ø ÓÒ Ò Û Ð ÓÒ ÓÒ ÙÑ Ø Ö Ø Û Ø ÓÜÝ Ò ÖÓÑ Ø ÙÖÖÓÙÒ Ò ØÑÓ Ô Ö º ÇÜ Ò Ð Ó ÔÓ Ø Ý Ø Ö Ñ Ð ÓÖ Ô Ý Ð Ñ Ò Ò Ô Ò ÒØÐÝ Ó Ø Ù ØÖ Ø ÓÑÔÓ Ø ÓÒº Ø Ö Ø Ù Ó ÓÜ Ø ÓÒ Ú Ö Ù ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ø Ò ÜØ Ñ ÓÖ ØÓÖ Ò Ø ÓÑÔ Ö ÓÒ Ó Ú Ö ÓÙ SiO 2 ÔÖÓ º ÄÓÛ Ö Ø Ñ¹ Ô Ö ØÙÖ Ö Ö Ð ØÓ Ö Ù ÓÔ ÒØ Ù ÓÒ ÒØ Ö Ù ÓÒ Ó ÐÑ Ò Ø Ò Ö Ø ÓÒ Ò Ð ÓÒº ÇÒ Ø ÓØ Ö Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÓÚ ¼ Cµ Ö ÒÓØ Ô ÖÑ Ð Û Ò Ð Ò Û Ø Ó Ð Ñ Ð Ù ØÖ Ø º º Ò Ø Ö Ø ÓÒ Ó Ø Ò ÐÑ ØÖ Ò ØÓÖ ÓÖ Ð ÕÙ ÖÝ Ø Ð ÔÐ Ý º ¾º½ Æ Ø Ú ÓÜ ÓÐÙØ ÐÝ Ø ÑÔÐ Ø Ñ Ø Ó ÓÖ ÓÜ ÓÖÑ Ø ÓÒ ÑÙ Ø ÑÔÐÝ Û Ø Ò ÓÖ Ò Ø Ú ÓÜ ØÓ ÓÖÑ ÓÒ Ð ÓÒ Û Öº Ø Ö ÙÖ ÓÜ Ò ØÖ ÔÔ Û Ø À Ò Û ÓÜ Ð Ý Ö Ó ØÝÔ ÐÐÝ ½º ÒÑ Û ÐÐ ÓÖÑ Û Ø Ò Û ÓÙÖ ÔÔº ¾ ¾ º Ò Ø Ú ÓÖ Ñ Ð µ ÓÜ Û ÐÐ Ð Ó ÐÝ ÓÖÑ ÙÖ Ò Û Ø ÔÖÓ Ò º º Ø Ò Ö Ê Ð Ò Ò Ôº º Æ Ø Ú ÓÜ Ù Ù ÐÐÝ Ó Ú ÖÝ ÔÓÓÖ ÕÙ Ð ØÝ Ò ÓÒØ Ò Û ÓÐ Ô ØÖÙÑ Ó ÑÔÙÖ Ø Ô ÙÔ ÖÓÑ Ø ÔÖÓ Ò Ò ØÓÖ Ñ Òغ ÁØ ÖØ ÒÐÝ ÒÓØ Ù ÒØ ÓÖ ÒÝ ÔÔÐ Ø ÓÒ Û Ö ÓÜ ÐÑ Ö Ö ÕÙ Ö Ò Ø Ö ÓÖ ÑÓ ØÐÝ ÒÙ Ò Û Ò ÔÖÓ Ò ÓÒ Ö Ð ÓÒ ÙÖ º ¾º¾ Ì ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ Ì ÑÔÐ Ø ÔÖ Ø Ð Ñ Ø Ó Ó ÓÖÑ Ò Ð ÓÒ ÓÜ ÓÒ Ð ÓÒ Û Ö Ý Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒº ÇÜ Ø ÓÒ ÖÖ ÓÙØ Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ù Ù ÐÐÝ

11 À ÈÌ Ê ¾º Ç Á ÊÇÏÌÀ ÇÆ ËÁÄÁ ÇÆ ØÛ Ò ¼ C Ò ½½¼¼ Cº Ë Ð ÓÒ Ò ÓÜ Þ Ò ÖÝ ÓÜÝ Ò ØÑÓ Ô Ö ÖÝ ÓÜ Ø ÓÒµ Si(s)+O 2 (g) SiO 2 (s) ÓÖ Ò Ò ØÑÓ Ô Ö ÓÒØ Ò Ò Û Ø Ö Ú ÔÓÖ Û Ø ÓÜ Ø ÓÒµ Si(s)+2H 2 O(g) SiO 2 (s)+2h 2 (g). SiO 2 ÓÖÑ Ø ÓÒ Ø ÔÐ Ø Ø Ë»SiO 2 ÒØ Ö Ø Ù Ø ÓÜÝ Ò ÓÖ Û Ø Ö ÑÓÐ ÙÐ ÑÙ Ø Ù Ø ÖÓÙ Ø ÓÜ Ð Ý Ö Ò ÓÖ Ö ØÓ Ö Ø Û Ø Ø Ð ÓÒº Ù ØÓ Ø Ñ ÐÐ Ö Þ H 2 O ÑÓÐ ÙÐ Ò Ù Ø ÖÓÙ Ø ÓÜ Ø Ö Ø Ò Ç 2 Û Ñ Û Ø ÓÜ Ø ÓÒ Ø Ö Ø Ò ÖÝ ÓÜ Ø ÓÒ Ôº ½ º Ë Ð ÓÒ Ò ØÙÖÒ ÓÒ ÙÑ Ò Ø Ö Ø ÓÒ ÓÙØ ¼º ññ ÓÖ ññ Ó ÓÜ ÔÖÓ Ù Ôº ¾ º Ì ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ ÕÙ Ø ÙÖ Ø ÐÝ Ö Ý Ø Ð¹ ÖÓÚ ÑÓ Ð ÔÔº Û Ø ÓÒ Ø ÓÐÐÓÛ Ò ÓÖÑ ÓÖ Ø Ò ÓÜ t ox B A (t+τ) ¾º½µ ÙØ Ø ÓÐÐÓÛ Ò ÓÖ Ø Ö ÓÜ t ox B(t+τ) ¾º¾µ Û Ö A Ò B Ö Ø ÙÐ Ø Ú ÐÙ Ò τ ÐÙÐ Ø ÖÓÑ Ø Ò Ø Ð Óܹ Ø Ò Ø Ø ÒÒ Ò Ó Ø ÓÜ Ø ÓÒ ÔÖÓ º ÁÒ Ø ÐÐÝ Ø ÓÜ Ø Ò t ox ÒÖ Ð Ò ÖÐÝ Û Ø Ø Ñ t ÕÙ Ø ÓÒ ¾º½µ ÙØ ÓÚ ½¼¼ ÒÑ ÓÜ Ø ÓÒ ÓÑ Ù ÓÒ ÓÒØÖÓÐÐ Ø Ö Ø Ð Û ÓÑ Ô Ö ÓÐ ÕÙ ¹ Ø ÓÒ ¾º¾µ Ò Ø ÖÓÛØ Ö Ø Ö Ö Ô Ðݺ Ì ÓÜ Ø ÓÒ Ö Ø Ó Ð ÓÒ Ú ÖÝ ÐÓÛ ÓÒÐÝ ÓÙØ ¼ ÒÑ Ó SiO 2 ÓÖÑ ÙÖ Ò Ø Ö Ø ÓÙÖ Ó ÖÝ ÓÜ Ø ÓÒ Ø ½¼¼¼ C Ôº ¾ º Ì Ù Ø Ø Ò Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ò ÓÒØÖÓÐÐ Ú ÖÝ ÙÖ Ø ÐÝ ÙØ ÐÑ Ø Ö Ø Ò ½ ññ Ö ÑÔÖ Ø Ð ØÓ Ú Ú Ò Ý Û Ø ÓÜ Ø ÓÒº Ì ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ ÓÑ ÔÖÓ Ð Ñ Ù ØÓ Ø Ø Ø Ø Ø Ð Ø Ö ÐÐÝ Ò ÓÜ Ø ÓÒ ÔÖÓ ÒÓØ Ò ÓÜ ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖÓ º Ù ØÓ Ø ÚÓÐÙÑ Ò Ó Ø Û Ø Ø ÓÜ Ø ÓÒ Ó Ð ÓÒ ÒÓÖÑÓÙ ØÖ Ò Ú ÐÓÔ Ø Ø Ë»SiO 2 ÒØ Ö º ÀÓÛ Ú Ö Ú ÓÙ ÓÛ Ó Ø ÓÜ Ö Ð Ú Ø ØÖ Û Ò ÓÜ Ø ÓÒ Ô Ö ÓÖÑ ÓÚ ¼ Cº Ì Ú ÓÙÖ Ó ÓÔ ÒØ ØÓÑ ÑÙ Ø Ð Ó ÓÒ Ö Ò Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒº Ù ØÓ Ø Ö Ò Ò ÓÔ ÒØ ÓÐÙ Ð Ø Ò Ð ÓÒ Ò ÓÜ ÓÔ ÒØ ØÓÑ Ò ÔÖ Ö ÒØ ÐÐÝ Ö Ø Ø Ö ÒØÓ Ø Ð ÓÒ ÓÖ ÒØÓ Ø ÓÜ Ð Ý Öº Ì Ù ÖÔ ÒÖ º º Ò Ø Ó ÓÖÓÒµ ÓÖ Ö º º Ô Ó Ô ÓÖÓÙ ÓÖ Ö Ò µ Ò Ø Ð ÓÒ ÓÔ Ò Ð Ú Ð Ò Ö Ø Ë»SiO 2 ÒØ Ö º ÔÔº ¾ ¼¼ Ù ØÓ Ø ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ ÒÓÑÔ Ø Ð Û Ø ÔÓÐÝÑ Ö ÑÓ Ø Ñ Ø Ð Ù Ò Ø Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ò Ù ØÖÝ Ò Ù ØÖ Ø Û Ø ÐÓÛ Ñ ÐØ Ò ÔÓ ÒØ º º Ó Ð Ñ Ð º ÁØ Ð Ó ÒÖ ÓÔ ÒØ Ù ÓÒ Ò Ð ØÖÓÒ Ú º ÀÓÛ Ú Ö Ø ÖÑ ÐÐÝ ÖÓÛÒ ÓÜ ÓÒØ Ò Ø Û Ø Ø

12 À ÈÌ Ê ¾º Ç Á ÊÇÏÌÀ ÇÆ ËÁÄÁ ÇÆ Ò Ø ÙÐ Ò Ø Ø SiO 2»Ë ÒØ Ö Ôº Ò Ø Ö ÓÖ Ò Ö ÐÐÝ ÓÒ Ö Ø ¹ ØÓ Ø Ò Ö Ò ÓÑÔ Ö ÓÒ Û Ø ÓØ Ö SiO 2 ÖÓÛØ Ò ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖÓ º ¾º ÈÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒ ÈÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒ Ô Ö ÓÖÑ Ø ÐÓÛ Ö ÔÖ ÙÖ Ø Ò Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ Ò ÑÓÖ ÑÔÓÖØ ÒØÐÝ Ø ÐÓÛ Ö Ø ÑÔ Ö ØÙÖ º Ì Ö Ø Ú ÓÒ Ð ØÖÓÒ Ö Ð Ò Ö Ø ÓÒ ÔÖÓ Ù Ý Ø ÔÐ Ñ Ò Ò Ø ÓÜ Ø ÓÒ Ö Ø ÓÒº Ì Ù ÖÓÛØ Ö Ø Ò Ö Ò Ú Ò ÓÚ Ø Ó Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ Ö ÔÓ Ð Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ð Ø Ò ¼¼ C Û Ö ÔÖ Ø ÐÐÝ ÒÓ Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ ÛÓÙÐ Ø ÔÐ º Ì ÔÐ Ñ Ò Ò Ö Ø Ý Ñ ÖÓÛ Ú Ê ÓÖ Ê Ü Ø Ø ÓÒ Ò Ø Ö O 2 ÓÖ N 2 O Ò Ù Ø ÓÜ Òغ Ï Ò Ø ÔÓØ ÒØ Ð Ó Ø Ð ÓÒ Ù ØÖ Ø Ð Ø Ó Ø Ò Ø ÔÖÓ Ö ÖÖ ØÓ ÔÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒº Ú Ò Ö ÖÓÛØ Ö Ø Ò Ú Ý ÔÖÓ ÐÐ ÒÓ Þ Ø ÓÒ Û Ö ÔÓ Ø Ú ÔÔÐ ØÓ Ø Ù ØÖ Ø ØÓ Ò Ò Ø ØÖ Ò ÔÓÖØ Ó Ò Ø Ú ÐÝ Ö Ô º À Ö ÔÓÖØ Ò ÒÑ» ÓÜ Ø ÓÒ Ö Ø Ø ¼¼ C Ý ÔÐ Ñ ÒÓ Þ Ø ÓÒ Ö Ø Ö Ø Ò Ø ¼ ÒÑ» Ý ÖÝ ÓÜ Ø ÓÒ Ø ½¼¼¼ C Ñ ÒØ ÓÒ ÖÐ Öº Ì ÖÓÛØ Ö Ø Ó SiO 2 Ò ÔÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒ Ú Ò Ö ÓÖ ÑÓÖÔ ÓÙ Ð ÓÒ ¹Ë µ Ø Ò ÓÖ ÖÝ Ø ÐÐ Ò Ð ÓÒº Ú Ò Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÐÓÛ ÒÓÙ ØÓ ÓÑÔ Ø Ð Û Ø Ô ÓØÓÖ Ø ÓÙØ ÒÑ Ó ÓÜ ÓÖÑ Û Ø Ò ÓÒ Ø Ö Û Ø ÓÜ Ø ÓÒ Ö Ø ÐÐ Ö Ô Ðݺ Ê ÔÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒ Ó ¹Ë Ò Ù Ý ÃÙÖ Ö Ø Ðº ÓÖ Ø Ö Ú Ö Ð Ó Ä¹Ô ØØ ÖÒ Ô ÓØÓÖ Ø ÐÑ ÔØ Ö µº ¾º Ñ Ð Ú ÔÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ Ñ Ð Ú ÔÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ Î µ Ú Ö Ø Ð Ñ Ø Ó ÓÖ ÔÓ Ø Ò Ø Ò ÐÑ ÖÓÑ ÓÙ ÔÖ ÙÖ ÓÖ º Ú Ö ØÝ Ó Ñ Ø ÐÐ Ñ Ñ Ø ÐÐ ÓÜ Ö¹ Ò Ò ØÖ ÐÑ Ò ÔÓ Ø ÖÓÑ Ù Ø Ð ÚÓÐ Ø Ð ÔÖ ÙÖ ÓÖ Ù Ù¹ ÐÐÝ Ý Ö Ð ÓÖ ÚÓÐ Ø Ð ÓÖ Ò ÓÖ Ñ Ø ÐÐÓ¹ÓÖ Ò ÓÑÔÓÙÒ º Ì ÓÙ ÔÖ ÙÖ ÓÖ Ö Ø ØÓ ÓÖÑ Ø ÔÓ Ø ÐÑ Ö Ø Ö Ø Ò ÓÒ ÙÑ Ò ÙÖ Ñ Ø Ö Ð ÖÓÑ Ø Ù ØÖ Ø ÓÜ Ø ÓÒ Ó º ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ö ÓÖ ÔÓ Ð Ö Ö Ð Ó Ø Ù ØÖ Ø ÓÑÔÓ Ø ÓÒº Ì Ö Ø ÓÒ ÔÖÓ ÓÒ Ø ÙÖ Ó Ø Ø Ù ØÖ Ø Ò Ò ÖÓÙ ÐÝ Ð ÓÐÐÓÛ ÔÔº ½

13 À ÈÌ Ê ¾º Ç Á ÊÇÏÌÀ ÇÆ ËÁÄÁ ÇÆ Ì ÖÑ Ð ÓÑÔÓ Ø ÓÒ ÔÝÖÓÐÝ µ SiH 4 (g) Si(s)+2H 2 (g) Ê ÙØ ÓÒ º º Ý Ý ÖÓ Òµ SiCl 4 (g)+2h 2 (g) Si(s)+4HCl(g) ÇÜ Ø ÓÒ ÓÖ Ý ÖÓÐÝ SiH 4 (g)+o 2 (g) SiO 2 (s)+2h 2 (g) ÇØ Ö º º Ò ØÖ Ø ÓÒµ 3SiH 4 (g)+4nh 3 (g) Si 3 N 4 (s)+12h 2 (g) ÇÖ Ò ÖÝ Ø ÖÑ Ð Î Ð Ó Ö ÖÖ ØÓ ÐÓÛ ÔÖ ÙÖ Î ÓÖ ÄÈ Î Ø Ú Ø Ý Ø ÓØ ÙÖ Ó Ø Ù ØÖ Ø Ò Ö ÕÙ Ö Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ØÝÔ ÐÐÝ ¼¼ ¼¼ Cº Ì ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖ ÙÖ Ù Ù ÐÐÝ ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó ÓÒ ÌÓÖÖ ½¼¼ È µ ÙØ Ò Ú ÖÝ Ò Û Ö Ò ÖÓÑ ØÑÓ Ô Ö ÔÖ ÙÖ ÓÛÒ ØÓ Ñ ÐÐ ÌÓÖÖ ¼º½ È µº Ø Ö ÔÖ ÙÖ Ò Ò ÖØ ÐÙ ÒØ ÑÙ Ø Ù ØÓ ÔÖ Ú ÒØ ¹Ô ÒÙÐ Ø ÓÒº ÔÔº ¾ ¾ Ì Î ÔÖÓ Ò Ò Ò Ý Ø Ú Ø Ò Ø ÓÙ ÔÖ ÙÖ ÓÖ Ý Ñ Ò Ó ÔÐ Ñ Ò Ö Ø Û Ø Ö Ó¹ Ö ÕÙ ÒÝ Ð ØÖ Ð º ÓÖ Ü Ñ¹ ÔÐ SiH 4 ÔÖÓ Ù Ö Ö Ð Ë À SiH 2 Ò SiH 3 Û ÐÝ Ö Ø Û Ø Ø Ù ØÖ Ø ÙÖ Ôº ½½ º Ì ÔÐ Ñ Ò Ò Î È Î µ Ñ Ø Ó Ø Ö ÓÖ ÐÐÓÛ Ù ØÖ Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ØÓ ÓÒ Ö ÐÝ ÐÓÛ Ö ØÝÔ ÐÐÝ ÖÓÙÒ ¼¼ ¼¼ Cº Ï Ð Ø ÐÓÛ Ö ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ø Ñ ÓÖ Ú Ò¹ Ø Ó È Î Ø Ò Ð ØÓ ÒÓÑÔÐ Ø ÓÖÔØ ÓÒ Ó Ö Ø ÓÒ ÝÔÖÓ ÙØ Ò ØÓ ÒÓÒ¹ ØÓ ÓÑ ØÖ ÐÑ º Ì Ð ØØ Ö Ò ÓÛ Ú Ö Ð Ó Ò Ú Ò¹ Ø Ø ÐÐÓÛ Ò ¹ØÙÒ Ò Ó Ø Ðѳ ÔÖÓÔ ÖØ ÓÖ Ô ÔÔÐ Ø ÓÒ Ôº ½¼ º Ë Ð ÓÒ ÓÜ Ò ÖÓÛÒ Ý Î ÖÓÑ Ð Ò SiH 4 µ Ò Ø Ö ÓÜÝ Ò ÓÖ Ò ØÖÓÙ ÓÜ N 2 Oµº ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ó ½¼¼¼ C ÄÈ Î µ Ò ¼¼ C È Î µ Ö ØÝÔ Ðº Ì ØÖ Ø ÓÜÝ Ð Ò Ì ÇË (C 2 H 5 O) 4 Siµ Ø Ð Ð ÕÙ ÒÓØ Ö Û ÐÝ Ù Ð ÓÒ ÔÖ ÙÖ ÓÖ ÓÖ Î º ÁØ Ó Ú ÓÙ Ú ÒØ ÖÓÑ Ø ØÝ ÔÓ ÒØ Ó Ú Û ÙØ Ö ÕÙ Ö Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ø Ò Ð Ò º ÔÔº ¾ ½ ¾º È Ý Ð ÔÓ Ø ÓÒ È Ý Ð ÔÓ Ø ÓÒ ÓÑÔÖ Ú Ö ÓÙ Ñ Ø Ó Ù Ø ÖÑ Ð ÓÖ ¹ Ñ Ú Ô¹ ÓÖ Ø ÓÒ Ð Ö Ð Ø ÓÒ Ò ÔÙØØ Ö Ò º ÁÒ Ø Ö Ø Ø Ö Ñ Ø Ö Ð Ú ÔÓÖ Ø Ý Ø Ò Ø Ö Ò ÙÐ Û Ø Ò Ð ØÖ ÐÐÝ Ø Ð Ñ ÒØ ÓÖ ÐÓ ÐÐÝ Ý Ø Ø ÓÒ Ó Ò Ð ØÖÓÒ Ñ ÓÖ Ð Öº ÁÒ Ø ÔÙØØ Ö Ò ÔÖÓ ÓÒ ÖÓÑ

14 À ÈÌ Ê ¾º Ç Á ÊÇÏÌÀ ÇÆ ËÁÄÁ ÇÆ Ò Ö ÓÒ ÔÐ Ñ Ö Ð Ö Ø ØÓÛ Ö Ø Ö Ø Ñ Ó Ø Ñ Ø Ö Ð ØÓ ÔÓ Ø º Ì ÓÒ ÓÑ Ö Ñ ÒØ Ù Ø Ö Ø ØÓÑ Ò ÑÓÐ ÙÐ ØÓ Ø ÓÖ ÔÙØØ Ö ÖÓÑ Ø Ø Ö Ø ÙÖ º Ì Ñ Ø Ö Ð ÓÒ Ò ØÓ ÓÖÑ ÐÑ ÓÒ Ø Ù ØÖ Ø ÙÖ º È Ý Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ñ Ø Ó Ö ÓÑÑÓÒÐÝ Ù ÓÖ Ñ Ø Ð Þ Ø ÓÒ Ó ÒØ Ö Ø ÖÙ Ø º Ë Ð ÓÒ ÓÜ Ò Ð Ó ÔÓ Ø Ý ¹ Ñ Ú ÔÓÖ Ø ÓÒ ½¼ Ø ÓÙ Ø Ñ Ø Ó ÒÓØ Ú ÖÝ ÓÑÑÓÒº ËÔÙØØ Ö Ò Ó Ò ÙÐ Ø Ò Ø Ö Ø Ù SiO 2 ÔÓ Ð Ò Ê Ö Ù Ò Ø Ó Ø ÑÓÖ ÓÑÑÓÒ ÐÓÛ Ö Ôº ¾ º ËÔÙØØ Ö Ò Ò Ú Ò ÐÓÛ Ö Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Ø Ò È Î Ù Ù ÐÐÝ Ø Ô Ö ÓÖÑ Ø ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ º ÙØ Û Ð ÔÙØØ Ö Ò Ø ÑÓ Ø ÓÑÑÓÒÐÝ Ù Ñ Ø Ð ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖÓ ÔÙØØ Ö Ò Ó SiO 2 Ú ÖÝ Ö Ö ÐÝ Ú Ò Ñ ÒØ ÓÒ Ò Ð Ø Ö ØÙÖ º

15 ÔØ Ö Ä ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ À ¹ Ð ÙÓ Ð º º ÕÙ ÓÙ Ð ¹ÓÒØ Ò Ò ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ü ¹ ÙÓÖÓ Ð H 2 Si 6 Ú Ò ÜØ Ò Ú ÐÝ ØÙ Ý Ì ÓÑ Ò ½½ º ÁØ ØÙÖÒ ÓÙØ Ø Ø Ø Ö Ð ÓÒØ ÒØ Ò ÑÙ Ð Ö Ö Ý ÙÔ ØÓ ½ ±µ Ø Ò ÜÔ Ø ÖÓÑ Ø ÓÖÑÙÐ H 2 Si 6 º Ì ÔÓ ÒØ ÓÙÐ ÑÔ Þ Ú Ò Ø ÓÙ H 2 Si 6 Ó Ø Ò ÓÒ Ö Ø ÔÖÓ ÙØ Ó SiO 2 ÓÐÚ Ò Ò À Ø Ö ÐÝ ÓÐÚ ÑÓÖ SiO 2 Ò Ø Ö ÓÖ Ø Ð Û Ðе ØÓ ÓÖÑ Ø¹ ÙÖ Ø ÓÐÙØ ÓÒ ÓÖÖ ÔÓÒ Ò ÕÙ Ø ÐÓ ÐÝ Ò ØÓ ÓÑ ØÖÝ ØÓ H 2 [Si 6 Si 4 ]º H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ÓÒØ Ò Ò Ú Ö ÓÙ ÑÓÙÒØ Ó ÓÐÚ Ð Ú Ò Ù ØÓ ÓÖÑ ÒØ ¹Ö Ø ÓÒ Ó Ø Ò ÓÒ Ð ÙÖ Ý Ø Ò ÔÓÖÓÙ Ð Ý Ö ÓÒ Ø ÙÖ Ø Ö Ò Ø Ú ÔÓÖ Ô ½¾ ÓÖ Ð ÕÙ Ô ½ º ÁÒØ Ö Ø Ò ÐÝ ÒÓÙ Ø Ú ÖÝ Ñ ÓÐÙØ ÓÒ Û Ö Ð Ø Ö ØÓ ÓÑ Ø ÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ð ÓÒ ÓÜ ÐÑ º Ì Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ ÄÈ µ ÔÖÓ Û Ö Ø Ö ÔÓÖØ Ò ½ Ý Æ Ý Ñ Ø Ðº ½ Û Ó ÔÓ Ø SiO 2 ÐÑ ÓÒ Ó Ð Ñ Ð Ý ÑÑ Ö ÓÒ Ò ÙÔ Ö ØÙÖ Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒº Ì Ñ Ø Ó Ò ÙÒ Ö ÓÒ ÜØ Ò Ú ØÙ Ý Ý Ú Ö Ð Ö Ö ÖÓÙÔ Ù ØÓ Ø ØØÖ Ø Ú ØÙÖ º º ÐÓÛ Ó Ø ÐÓÛ Ø ÖÑ Ð Ù Ø Ò Ð Ø Ú Øݺ º½ Å Ò Ñ SiO 2 ÄÈ Ò ÓÒ Ö Ø Ö Ú Ö Ó SiO 2 ÓÐÚ Ò Ò Ý ÖÓ ÙÓÖ º ÔÖ ÒØ Ò ½ Ø Ö Ø ÓÒ H 2 Si 6 (aq)+2h 2 O(l) SiO 2 (s)+6h(aq) º½µ Ò ÕÙ Ð Ö ÙÑ Ö Ø ÓÒ Û Ø ØÓ Ø Ö Ø ÓÖ Ò ØÓ Ä Ø ¹ Ð Ö³ ÔÖ Ò ÔÐ Ý Ø Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö ÓÖ Ý Ø Ö ÑÓÚ Ð Ó À º Ì Ð ØØ Ö ÓÑÔÐ Ý Ò À ¹ Ú Ò Ö Ù ÓÖ ½ ÓÖ ÐÙÑ ÒÙÑ ½ Û ÓÖÑ Ø Ð ÓÑÔÐ Ü Û Ø ÙÓÖ ÓÒ

16 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ 4H+H 3 BO 3 B 4 +3H 2O+H + º¾µ 6H+Al H 3 Al H 2 º µ Ø Ö Û Ý ÙÔ Ö ØÙÖ Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ö ÙÐØ º º ÓÐÙØ ÓÒ ÓÒØ Ò Ò ØÓÓ ÑÙ SiO 2 Ò Ø Ö ÓÖ Ô Ð Ó ÔÓ Ø ÓÒº ÔÓ Ø ÓÒ Ó SiO 2 Ò ÓÓÒ Ù Ø Ð Ù ØÖ Ø ÑÑ Ö º ÁØ ÒÓØ ÛÓÖØ Ý Ø Ø Û Ø Ö Ø ÒÓØ ÓÒÐÝ ÓÐÚ ÒØ Ò Ø Ö Ø ÓÒ ÙØ Ð Ó Ö Òغ Ì Ù Ò SiO 2 ¹ ØÙÖ Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ö Ø ÓÒ º½ Ò Ñ ØÓ ÔÖÓ Û Ø Ø Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö ÓÒÐÝ ½ ½ Û Ø ÓÙØ ÒÝ À ¹ Ú Ò Ö º Ï Ð Ñ ÒÝ ÖØ Ð Ö Ö ØÓ Ø Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö ÐÙØ ÓÒ Ó Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ø ÓÙÐ Ö Ø Ö Ö Ö Ø ÓÒ Ó Ö ÒØ Ù Ò Ò Ò Ø ØÓØ Ð ÚÓÐÙÑ Ó Ø Ö ÒØ ÓÐÙØ ÓÒº Ë Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ó SiO 2 Ò À Ò ÜÓØ ÖÑ Ö Ø ÓÒ ½½ Ø Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÜÔ Ø ØÓ Ò Ò ÔÓ Ø ÓÒº ÁÒ Ø Ø Ðº ½ Ú ÑÓÒ ØÖ Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ¹ Ô Ò ÒØ ÄÈ Ì ¹ÄÈ µ ÓÒÐÝ ÓÒ Ò Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Û Ø ÒÓ Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö ÓÖ H 3 BO 3 º Ì ØÙ Ð Ñ Ò Ñ Ò SiO 2 ÄÈ Ð Ú ØÓ ÒÚÓÐÚ ÒØ ÖÑ Ø Ô ÓÖÑ Ý Ø Ý Ö Ø ÓÒ Ó H 2 Si 6 ÓÖ ØÙÖ Ø ÓÒ Ó Ø À ¹ÓÒØ Ò Ò ÓÐÙØ ÓÒ Û Ø Ð ½ ¾¼ ¾½ H 2 Si 6 +(4 m)h 2 O Si m (OH) 4 m +(6 m)h mh+sio 2 xh 2 O Si m (OH) 4 m +(x+m 2)H 2 O º µ º µ Ø Ðº ½ ÓÒ Ø ÓØ Ö Ò ÔÖÓÔÓ Si 4 Ò ÖÝ ÒØ ÖÑ Ø Ô º ÓÖ Ò ØÓ Ø Ñ ØÙÖ Ø ÓÒ Ó Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Û Ø SiO 2 Ù Ø ÓÐÐÓÛ Ò Ö Ø ÓÒ ØÓ ÓÙÖ 5H 2 Si 6 +SiO 2 3[Si 6 Si 4 ] 2 +2H 2 O+6H + º µ Ø ÒÙÐ ÓÔ Ð H 2 O ØØ Ø Û Si Si ÓÒ º º½µ Si 4 ÓÖÑ [Si 6 Si 4 ] 2 +2H 2 O Si 4 (OH) 2 2 +Si 4 +2H º µ ÙÖØ Ö Si 4 (OH) 2 2 Û ÐÐ Ö Ø ØÓ ÓÖÑ ÑÓÖ Si 4 Si 4 (OH) H + Si 4 +2H 2 O º µ Ì Ð ÑÓÒÓÑ Ö Si(OH) 4 Ø Ò ÓÖÑ Ý Ø Ý ÖÓÐÝ Ó Si 4 3Si 4 +4H 2 O 2Si 2 6 +Si(OH) 4 + 4H + º µ Ë Ò ÔÓ Ø ÓÒ ÓÙÖ ÓÒÐÝ ÓÒ Ø ÙÖ Ó Ø Ù ØÖ Ø º º SiO 2 Ô ÖØ Ð Ó ÒÓØ Ò ØÓ ÓÖÑ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒµ Ø Ñ Ø Ø Ø ÙÖ ÐÓÛ Ö Ø Ø ¹ Ú Ø ÓÒ ÖÖ Ö Ó Ø Ö Ø ÓÒº ÓÙ Ò Ä ½ ÔÖÓÔÓ Ø Ø Ø ÙÓÖ Ò Ø

17 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½¼ Si H O Si H 2 Si H O H Si 2 Si OH Si 2 O + H 2 Si OH OH 2 + Si + H + H ÙÖ º½ Ì [Si 6 Si 4 ] 2 ÓÑÔÐ Ü Ò Ø Ö Ø ÓÒ Û Ø Û Ø Ö ½ Ð ÑÓÒÓÑ Ö ÓÖÑ Ò º º ÓÖ º Ö Ø Û Ø ÙÓÖ Ò ÓÖ Ý ÖÓÜÝÐ ÖÓÙÔ Ò Ø Ù ØÖ Ø ÙÖ ØÓ ÓÖÑ Ò Û Si O ÓÒ Ò À [substrate] Si + HO Si (solution) [substrate] Si O Si + H º½¼µ [substrate] Si OH + Si (solution) [substrate] Si O Si + H º½½µ ÇØ Ö Ñ Ò Ñ Ú Ò ÔÖÓÔÓ Û ÐÐ ½ ¾¼ ¾½ Û Ö ÐÓÜ Ò ÓÐ Ó¹ Ñ Ö ÓÖ ÔÓÐÝ Ð Ö ÓÖÑ ÓÖ Ð Ö ØÝ ÙÓÖ Ò ØÓÑ Ö ÒÓÖ µ nsi(oh) 4 HO [ Si(OH) 2 O ] n OH + (n 1)H 2 O º½¾µ Ù ØÓ Ø Ö ÐÓÛ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ø ÓÐ ÓÑ Ö Ó ÒÓØ Ö Ø Û Ø ÓØ Ö Û ÛÓÙÐ Ð ØÓ Ð ÕÙ Ô ÒÙÐ Ø ÓÒ Ò ÔÖ ¹ Ô Ø Ø ÓÒ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒº Ê Ø Ö Ø Ý ÓÖ ÓÒØÓ Ø Ù ØÖ Ø ÙÖ Ò ØÓ Ø Ö Û Ø ÙÖ Ý ÖÓÜÝÐ ÖÓÙÔ ÙÒ Ö Ó Ø ÐÝÞ Ý Ö Ø ÓÒ ØÓ ÓÖÑ Ò Û Si O ÓÒ [substrate] Si OH + HO Si (solution) [substrate] Si O Si + H 2 O º½ µ ÁÒ Ø Ö Ø Ù ØÖ Ø ÙÖ ØÖÙØÙÖ Ö Ø Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ø Ó ÔÓ¹ Ø ÓÒº ÓÖ Ò ØÓ ÓÙ Ò Ä ½ Ø Ú ÓÙÖ Ó Ð ÓÒ ÙÖ Ò À ¹ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑ Ò Ø Ý Ø ÓÐÐÓÛ Ò ÕÙ Ð Ö [substrate] Si H + H 2 O [substrate] Si OH + H 2 [substrate] Si OH + H [substrate] Si + H 2 O [substrate] Si + H [substrate] Si H + H 2 Si 6 º½ µ º½ µ º½ µ

18 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½½ Á Ø À ¹ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ÐÓÛ Ö Ø Ð Ð Ú Ð Ý ÖÓ Ò Ø ÖÑ Ò Ø ÙÖ Û ÐÐ ÓÒÚ ÖØ Ý Ø Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö ØÓ Ý ÖÓÜÝÐ Ø ÖÑ Ò Ø ÓÒ º½ µº Á ÓÛ Ú Ö Ø À ¹ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ØÓÓ ÓÒÚ Ö ÓÒ Ó Ü Ø Ò Ý ÖÓÜÝÐ º½ µ Û ÐÐ ÓÑ Ò Ø Ò ÒÝ ÓÜ ÐÑ ÔÖ ÒØ Û ÐÐ Ø º Ë Ò ÄÈ Û ÐÐ ÓÙÖ ÓÒ Ý ÖÓÜÝÐ Ø ÖÑ Ò Ø ÙÖ ÓÒÐÝ ÖÓÛØ Û ÐÐ Ò ÓÒ À ¹ ØÖ Ø ÙÖ ÓÒÐÝ Ø Ö Ù ÒØ Ö ÓÜ Ø ÓÒ Ý Û Ø Ö Ö ÙÐØ Ò Ò Ð Ý ÖÓÛØ º ÇÒ ÙÖ Û Ø ÓÙØ Ý ÖÓÜÝÐ ÖÓÙÔ Ù Ñ Ø Ð Ò ÓÖ Ò ÒÐÙ Ò Ô ÓØÓÖ Øµ ÄÈ ÓÙÐ ÒÓØ ÓÙÖ Ø Ðк ËÙÖ Ý ÖÓÔ Ó ØÝ Ò ØÙ Ý ÀÓÑÑ Ø Ðº ¾¼ Ò ÐØ ÖÒ Ø Ú Ù ÓÖ Ø Ó ÖÚ Ð Ø Ú ØÝ Ó ÄÈ º ÀÓÛ Ú Ö ÒÓ ÓÒÐÙ Ú Ö Ð Ø ÓÒ Ô ØÛ Ò Ø ØÛÓ Ò ÓÙÒ º º¾ ËÔ Ð ØÙÖ Ó ÄÈ ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð Ñ Ø Ó Ó ÓÜ ÔÓ Ø ÓÒ Ò ÖÓÛØ Ö ÕÙ Ö ÜÔ Ò Ú ÕÙ Ô¹ Ñ ÒØ ÒÚÓÐÚ Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ò ÔÓ ÐÝ Ö ÕÙ Ö Ò Ú ÙÙÑ Ý Ø Ñ º ܹ ÔÐÓ Ú Ò ØÓÜ Ù Ý ÖÓ Ò Ò Ð Ò Ö Ð Ó ÒÚÓÐÚ Ö ÕÙ Ö Ò ÜØ Ò Ú ØÝ Ñ ÙÖ º ÄÈ ÓÒ Ø ÓØ Ö Ò Ú ÖÝ ÑÔÐ ÔÖÓ Û ÛÓÖ Ø ØÑÓ Ô Ö ÔÖ ÙÖ Ò Ø Ú ÐÝ ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ò Ö ÕÙ Ö ÓÒÐÝ Ò ÜÔ Ò Ú ÕÙ ÔÑ ÒØ º º Ñ Ò Ø Ø ÖÖ Ö¹ ÓØÔÐ Ø Ò ÐØÖ Ø ÓÒ Ý Ø Ñµº Ð Ó Ø Ñ Ð ÒÚÓÐÚ Ö Ö Ð Ø Ú ÐÝ Ò ÐÝ Ò Ð Ò Ð ÕÙ ÓÖѺ Ì ÐÓÛ ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ó ÄÈ ÓÒ Ó Ø Ñ ÓÖ ØÖ Ò Ø ÒÓØ ÓÒÐÝ ÖÓÑ Ø ÕÙ ÔÑ ÒØ ÔÓ ÒØ Ó Ú Ûº ÁØ Ð Û Ò Ñ Ø Ö Ð ÔÖ Ú ÓÙ ÐÝ ¹ ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ù ØÖ Ø Ö ÒÓÑÔ Ø Ð Û Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Ò º ÐÙÑ ÒÙÑ ÓÖ Ü ÑÔÐ ÛÓÙÐ Ñ ÐØ Ò Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ Û Ö ÔÓÐÝÑ Ö Ð Ý Ö º º Ô ÓØÓÖ Ø Ñ Ý Ñ ÐØ ÓÖ ÓÑÔÓ Ú Ò Ø Ø ¼¼ C Ø ÑÔ Ö¹ ØÙÖ ÓÑÑÓÒÐÝ Ù Ò È Î º ËÓ Ð Ñ Ð Ù ØÖ Ø Ñ Ý Ð Ó ÖÙÐ ÓÙØ ¹Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Ò º Ò Ø ÓÒ Ð Ú ÒØ Ò Ö ÔÐ Ò ¹ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÓÜ Ø ÓÒ Ò ÔÓ Ø ÓÒ Û Ø ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Ø Ö ÓÚ Ö ÐÐ Ø ÖÑ Ð Ù Ø Ø Ù Ö Ù Ò ÓÔ ÒØ Ù ÓÒ Ò Ð ØÖÓÒ Ú º Ì ÓÒ Ñ ÓÖ Ú ÒØ Ó ÄÈ Ø Ð Ø Ú ØÝ Ó ÔÓ Ø ÓÒ º º SiO 2 ÔÓ Ø ÓÒ ÓÑ Ñ Ø Ö Ð ÙØ ÒÓØ ÓÒ ÓØ Ö º º¾µº Ì Ò Ð Ñ ÒÝ ÔÖÓ ØÓ ÑÔÐ ÓÖ ÑÔÖÓÚ ÖÓÑ Ø Ö ÑÓÖ ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÔÖÓ Ò ÔÔÖÓ Ë Ø ÓÒ º µº Ñ ÒØ ÓÒ Ò Ë Ø ÓÒ º½ ÄÈ Ð Ú ØÓ ÓÙÖ ÓÒÐÝ ÓÒ Ý ÖÓÜÝÐ¹Ø ÖÑ Ò Ø ÙÖ Ò ÓÙÐ Ø Ö ÓÖ Ð Ø Ú ØÓ º º Ô ÓØÓÖ Ø Ð ÓÒ Ò ØÖ Ò Ñ Ø Ð º Ë Ð Ø Ú ØÝ ØÓ Ô ÓØÓÖ Ø Û ÐÝ Ö ÔÓÖØ º º ¾¾ ¾ ¾ º ÀÓÑÑ Ø Ðº ¾¼ Ö ÔÓÖØ ÓÒ Ø Ð Ø Ú ØÝ ØÓ ØÙÒ Ø Ò Û Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ó ÖÚ ÓÒ ÔÙØØ Ö ÏË x ÔÖÓ ÐÝ Ù ØÓ Ò Ø Ú SiO 2 Ð Ý Ö ÓÒ Ø ÙÖ º Ë Ð Ø Ú ØÝ ØÓ Si 3 N 4 Ð Ó Ö ÔÓÖØ Ý Ú Ö Ð ÒÚ Ø ØÓÖ ¾½ ¾ ¾ º Ö Ð ÓÒ ÙÖ ØÖ ÔÔ Ó Ø Ò Ø Ú ÓÜ Ð Ý Ö Û Ø À Ü Ø Ú ÖÝ Ð ØØÐ ½ ÓÖ ÒÓ ÔÓ Ø ÓÒ ¾¼ º

19 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½¾ Non-selective Selective material 2 material 1 material 2 material 1 Deposition ÙÖ º¾ Ë Ð Ø Ú Ú Ö Ù ÒÓÒ¹ Ð Ø Ú ÔÓ Ø ÓÒ Ò ÜÔ Ø ÄÈ ÓÒ ÓÖÑ Ð º º ÔÓ Ø ÓÒ ÓÙÖ ÓÒ Ú ÖØ Ð ¹ Û ÐÐ Ó ØÖÙØÙÖ ÒØ ÐÐÝ ØÓ ÓÖ ÞÓÒØ Ð ÙÖ º º µº Ä Ø Ðº ¾ Ú ÒÚ Ø Ø Ø Ù Ó SiO 2 ÄÈ ÓÖ ØÖ Ò ÐÐ Ò Ò Ú Ö Ð Ö Ö ÖÓÙÔ Ú ÙØ Ð Þ Ø ÓÖ ÔÐ Ò Ö Þ Ø ÓÒ Ë Ø ÓÒ º º µ ¾¼ ¾ º Non-conformal Conformal substrate substrate Deposition ÙÖ º ÓÒ ÓÖÑ Ð Ú Ö Ù ÒÓÒ¹ÓÒ ÓÖÑ Ð ÔÓ Ø ÓÒ ÁÒ Ø ÓÒ ØÓ Ð ÓÒ Ò Ð Ù ØÖ Ø SiO 2 ÄÈ Ð Ó ÔÓ Ð ÓÒ Ð¹ Ð ÙÑ Ö Ò Ò Ò ÙÑ Ô Ó Ô Ù ØÖ Ø º ÈÖ ØÖ ØÑ ÒØ Ó Ø Ù ØÖ Ø Û Ø ÑÑÓÒ ÙÑ Ý ÖÓÜ ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ö ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ò ÓÙÒ ØÓ ÒÖ Ø ÙÖ Ý ÖÓÜÝÐ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ò Ø Ù ÔÖÓÑÓØ ÄÈ ¾ Û Ö ÁÒÈ Ö ÕÙ Ö ÒÓ Ô Ð ÔÖ ØÖ ØÑ ÒØ ¾ º ÈÐ Ø Ù ØÖ Ø ÔÓÐݹ Ö ÓÒ Ø Ò ÈÅÅ µ Ò Ù ÙÐÐÝ Ó Ø Û Ø ÄÈ SiO 2 Ý Ö Ø ØÖ Ø Ò Ø Ñ Û Ø Ð Ò ÓÙÔÐ Ò ÒØ γ¹ Ñ ÒÓÔÖÓÔÝÐØÖ Ø ÓÜÝ Ð Ò ÓÖ Æ¹ β¹ Ñ ÒÓ Ø Ýе¹γ¹ Ñ ÒÓÔÖÓÔÝÐØÖ Ñ Ø ÓÜÝ Ð Ò ÓÖ ÔÓÐÝ Ö ÓÒ Ø Ù ØÖ Ø γ¹ñ Ø ÖÝÐÓÜÝÔÖÓÔÝÐØÖ Ñ Ø ÓÜÝ Ð Ò ÓÖ ÈÅÅ Ù ØÖ Ø µ Ò Ø Ò Û Ø Ø Ý ÖÓÐÝ ÔÖÓ ÙØ Ó Ì ÇË ÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ ¼ º

20 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½ º Å Ø Ó Ì ÓÖ Ò Ð ÔÖÓ Ó Æ Ý Ñ Ø Ðº ½ ÓÐÐÓÛ ½º ÐÙØ mol/dm 3 H 2 Si 6 ØÓ ¾ mol/dm 3 ¾º À Ø ÓÐÙØ ÓÒ ØÓ C º SiO 2 Ø Ö ÓÖ ½ ÓÙÖ º ÐØ Ö º H 3 BO 3 º ÁÑÑ Ö Ù ØÖ Ø ÌÛÓ Ú Ö Ø ÓÒ Ó Ø ÔÖÓ Ü Ø Ö Ò Ò Ø ÓÖ Ö Ó Ø ÔÖÓ Ø Ô º Ì Ñ Ø Ó ÒÓØ ÔÖÓ Ò Ý ÓÙ Ò Ä ½ Ò ÖÓÙØ Á Ò ÁÁ Ò ½ Ø Ð ØØ Ö ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Û ÐÐ Ù Ö µ Ö Ô Ø Ò º º º ÁÒ ÖÓÙØ Á Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ØÙÖ Ø Û Ø SiO 2 ÔÖ ÓÖ ØÓ ÐÙØ ÓÒ Û Ø Û Ø Ö Û Ö Ò ÖÓÙØ ÁÁ Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ö Ø ÐÙØ Ø Ò ØÙÖ Ø º Ë Ò Û Ø Ö Ö ÒØ Ò Ø Ö Ø ÓÒ ÙÔ Ö ØÙÖ Ø ÓÒ Ñ Ý Ö Ò ÖÓÙØ ÁÁ ÐÖ Ý ÙÖ Ò ÐÙØ ÓÒ Ó H 2 Si 6 º Ì Ù Ø Ð ÔÓÛ Ö Ñ Ý ØÙ ÐÐÝ ÔÐ Ø Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ó ÓÐÚ SiO 2 Ý ÔÖÓÚ Ò Ò ÒÓÖÑÓÙ ÙÖ Ö ÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ ØÓ ÓÙÖ ÓÒº ÊÓÙØ ÁÁ Ø Ö ÓÖ Ö ÕÙ Ö Ö Ø Ö ÑÓÙÒØ Ó H 3 BO 3 ØÓ Ú Ø Ñ Ð Ú Ð Ó ÙÔ Ö ØÙÖ Ø ÓÒ ÖÓÙØ Áº ÆÓØ ÙÖÔÖ Ò ÐÝ ÖÓÙØ Á Ø ÑÓÖ ÓÑÑÓÒÐÝ Ò Ú Ö ÒØ Ò Ø Ð Ø Ö ØÙÖ º Route I resh H2 Si 6 Route II SiO 2 addition H 2 O addition Saturated H 2 Si 6 H 2 O addition Dilute H 2 Si 6 SiO 2 addition H 3 BO 3 addition Growth solution ÙÖ º ÌÛÓ ÖÓÙØ ÓÖ ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÔÖ Ô Ö Ø ÓÒ ÌÓ ÓÖØ Ò Ø Ø Ñ Ö ÕÙ Ö ÓÖ ØÙÖ Ø ÓÒ Ó Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ð SiO 2 xh 2 Oµ Ò Ù Ò Ø Ó SiO 2 ¾ º Ë Ð ÓÒØ Ò Ñ ÒÝ Ý ÖÓÜÝÐ ÖÓÙÔ Ò Ø Ö ÓÖ ÑÓÖ ÐÝ ÓÐÙ Ð Ò À º

21 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½ ÓÖ Ý Ö Ø ÑÓ Ø ÔÓÔÙÐ Ö À ¹ Ú Ò Ö Ù Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒº Ï Ð ÑÓ Ø ÄÈ ÔÖÓ Ö ÔÓÖØ Ò Ð Ø Ö ØÙÖ ÐÐ Ó Ø Ö ÕÙ Ö ÓÖ ÔÖ ÓÖ ØÓ ÑÑ Ö ÓÒ Ó Ø Ù ØÖ Ø ÀÓÑÑ Ø Ðº ¾¼ ÀÓÖ Ù Ø Ðº ¾ Ò Ø Ðº ÙØ Ð Þ ÓÒ Ø ÒØ Ø ÓÒ Ó H 3 BO 3 ÓÐÙØ ÓÒ ÙÖ¹ Ò ÔÓ Ø ÓÒ Û Ø Ò ÙØÓÑ Ø ÐÐÝ ÓÒØÖÓÐÐ Ö ÔÔ Öº ÐÙÑ ÒÙÑ Ò Ð Ó Ù ØÓ Ú ÙÔ Ö ØÙÖ Ø ÓÒ ½ ¼ º Ã Ø Ó Ø Ðº ¼ Ù ÔÙÑÔ ØÓ ÖÙÐ Ø Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ô Ø Ø Ù ØÖ Ø Ò ÐÙÑ ÒÙÑ Ñ Ø Ð Ó Ø Ø ÐÙÑ ÒÙÑ ÓÐÚ ÙÖ Ò Ø ÒØ Ö ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖÓ Ò ÐÓ ÓÙ ÐÝ ØÓ ÓÒ Ø ÒØ Ø ÓÒ Ó H 3 BO 3 º ÇØ Ö Ñ Ø Ó Ó ÙÔ Ö ØÙÖ Ø Ò Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ö Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö ÓÒÐÝ ½ ½ Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ¹ Ö Ò ÄÈ Ì ¹ÄÈ µ ½ º ÁÒ Ì ¹ÄÈ Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ØÙÖ Ø Ø Ø Ñ¹ Ô Ö ØÙÖ Ò Ö ¼ C ÐØ Ö Ò Ø ÔÖ ÓÖ ØÓ Ù ØÖ Ø ÑÑ Ö ÓÒ ØÓ Ö Ø ÙÔ Ö ØÙÖ Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒº Ì ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ö ÔÓÖØ ØÓ Ø Ý Ð Ö Ò Ò Ø ÐÝ ÐÓÒ Ø H 3 BO 3 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ÐÓÛ ÖØ Ò Ð Ú Ð ½ Ó ÑÓ Ø ÒÚ Ø ØÓÖ ÑÔÐÝ ÐØ Ö Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ö ØÙÖ Ø ÓÒ Û Ø SiO 2 º ÒØ Ñ ÐÝ Ø Ðº ½ ÓÒ Ø ÓØ Ö Ò Ú ÖÓÛØ Ö Ø Ý ÓÒ Ø ÒØÐÝ ÖÙÐ Ø Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ø ÖÓÙ Ñ ÖÓ ÐØ Ö ØÓ Ö ÑÓÚ ÒÝ SiO 2 Ô ÖØ Ð Ø Ø ÓÖÑ ÙÖ Ò ÔÓ Ø ÓÒº º º º½ Ö Ø Ö Þ Ø ÓÒ ÖÓÛØ Ö Ø Ì ÖÓÛØ Ö Ø Ó ÓÜ Ò ÄÈ Ô Ò Ñ ÒÐÝ ÓÒ Ø ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ º Ë Ò Ø Ö Ø ÓÒ ÙÖ ÓÒØÖÓÐÐ Ø ÚÓÐÙÑ Ó Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ø ÙÖ Ö Ó Ø Ù ¹ ØÖ Ø Ú ÒÓ Ø ÓÒ Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø º Ê ÙÐØ Ý Ñ ÒÝ ÒÚ Ø ØÓÖ Ö ÙÑÑ Ö Þ Ò Ö Ú Û Ý Ò Ø Ðº ½ º ÖÓÛØ Ö Ø Ö Ò ÖÓÑ Û Ò ÒÓÑ Ø Ö Ô Ö ÓÙÖ ØÓ ÓÚ Ö ¾ ¼ ÒÑ» Ö ÔÓÖØ Ý ÓÙ Ò Ä ½ º ÐÐ ÔÙ Ð Ø ÓÒ Ö Ø Ø Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÒÖ Û Ø ÒÖ Ò Ø Ñ¹ Ô Ö ØÙÖ Ò H 3 BO 3 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒº Ì Ö ÓÛ Ú Ö Ò ÒØ Ú Ö Ø ÓÒ Ò Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ö ÔÓÖØ Ý Ö ÒØ ÒÚ Ø ØÓÖ Ú Ò Ø ÕÙ Ð ÓÖ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ º ÁÒ ÓÑ Ø Ö Ò ÜÔÐ Ò Ý Ø Ó Ó ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÔÖ Ô Ö Ø ÓÒ ÖÓÙØ º ÁÒ ÓØ Ö Ø H 2 Si 6 ØÙÖ Ø ÓÒ Ø Ñ Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÓÖ Ø Ó Ó Ð ÓÒ ÓÜ ÓÖ Ð Ò Ø ØÙÖ Ø ÓÒ Ø Ô Ñ Ý Ù Ö Ò Ò Ø Ò Ø Ð Ø Ø Ó Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒº Ì ÜÔÓ ÙÖ Ö Ó Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ø Ó Ø Ú ÔÓÖ Ø ÓÒ ÐÓ Ñ Ý Ý Ø ÒÓØ Ö ØÓÖ Ø Ò Ø Ö ÒØ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒº ÓÖÑ Ø ÓÒ Ó ÔÓÛ ÖÝ SiO 2 Ò Ó ÖÚ ÓÚ Ø Ð ÕÙ ÙÖ¹ Ø Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÑÔÐÝ Ò Ú ÔÓÖ Ø ÓÒ Ó ÑÓÖ Ø Ò Ù Ø Û Ø Ö ½ Ò Ò Ú Ò Ø ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ð Ò Ø Ý Ø Ú ÔÓÖ ÖÓÑ ÓÐÙØ ÓÒ Ó H 2 Si 6 ½¾ º ÍÒ ÓÖØÙÒ Ø ÐÝ Ø Ü Ø Ö Ø ÓÒ Ú Ð ÓÑ ØÖ Ö Ð ÓÑ Ö ÔÓÖØ º

22 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½ Ñ ÐÐ Ò Ò Ñ ÒØ Ò ÖÓÛØ Ö Ø Ý ÍÎ ÐÐÙÑ Ò Ø ÓÒ Ð Ó Ò Ö ÔÓÖØ Ý ÀÙ Ò Ø Ðº º Ì Ø ÓÑ Ð ØÐÝ ÑÓÖ ÔÖÓÒÓÙÒ Ø Ö H 3 BO 3 Ò H 2 Si 6 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ º Ç Ø Ô ÓÙÒ Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÒÐÝ Si 2 6 Ü Ø ØÖÓÒ ÓÖÔØ ÓÒ Ó ÍÎ Ö Ø ÓÒ Ò Ø Ò Ø Ø Ø Ñ Ý Ø Ú Ø ØÓ ÓÖÑ ÒØ ÖÑ Ø Ô º º º¾ Ê Ö Ø Ú Ò Ü Ì Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ó ÄÈ SiO 2 ÐÑ ØÝÔ ÐÐÝ ÖÓÙÒ ½º ½ º Ø Ö ÓÖ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ º º Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø µ Ø Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ø Ò ØÓ Ö Ð ØÐÝ º ÈÓ Ø¹ ÔÓ Ø ÓÒ ÒÒ Ð Ò Ð Ó Ù Ð Ø Ö Ò Ø Ö Ö Ø Ú Ò Ü Û Ø ÒÖ Ò ÒÒ Ð Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÙÒØ Ð Ø ÓÙØ ¼¼ C Ø Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ù ÒÐÝ ÒÖ ÐÑÓ Ø ØÓ Ø Ø Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ n = µº Ì Ú ÓÙÖ ØØÖ ÙØ ØÓ Ø Ö Ð Ó Û Ø Ö ÖÓÑ Ø ÓÜ Ò ÓÒÚ Ö ÓÒ Ó Si ÓÒ ØÓ Si O Si ÓÒ Ø ¼¼ C ½ º º º ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ì ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ó ÄÈ SiO 2 ÐÑ Ò ØÙ ÜØ Ò Ú ÐÝ Ù Ò Ò Ö Ö Ô ØÖÓ ÓÔÝ Ò Ü¹Ö Ý Ô ÓØÓ Ð ØÖÓÒ Ô ØÖÓ ÓÔÝ º º ½ ½ ½ ½ ½ µº ÁÒ Ò Ö Ð Ú ÖÝ ØÖÓÒ Si O Si ØÖ Ø Ò Ô Ö Ò Ò Áʹ Ô ØÖ Û Ø Si ØÖ Ø Ò Ð Ó Ú Ð Ò Ú ÖÝ ÒØ ÇÀ¹ ØÖ Ø Ò º ÁÒÖ Ò ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÓÙÒ ØÓ ÒÖ Ø Ò Ð ÖÓÑ Ø ÖÑ Ò Ø Ò ÓÒ OH Ò µ Ò Ö Ø Si O Si Ò Ð Ò Ø Ò ÑÓÖ ÔÓÖÓÙ ØÖÙØÙÖ ½ ½ º Æ Ý Ñ Ø Ðº ½ Ö ÔÓÖØ Ø Ø ÄÈ SiO 2 ÓÒØ Ò ÑÓÖ Si O Si ÓÒ Ø Ò ÓÜ ÐÑ ÔÓ Ø Ý ÓØ Ö Ñ Ò Î Ú ÙÙÑ Ú ÔÓÖ Ø ÓÒ Ò ÔÔ Ò Ñ Ø Ó µ Ò Ø Ò Ö ÐÑ ÕÙ Ð Øݺ ÓÖ Ò ØÓ Ê ¹Ñ ÙÖ Ñ ÒØ Ø ÓÜ ÐÑ Ö ÑÓÖÔ ÓÙ ½ º ÈË ØÙ Ò Ø Ø Ö Ø Ó Ó Ë ØÓ Ç Ú ÖÝ ÐÓ ØÓ ½ ¾ ½ ½ º Ì ÙÓÖ Ò ÓÒØ ÒØ Ó ÄÈ SiO 2 ÐÑ Ò ÙÔ ØÓ º ØÓÑ ¹± ÔÖ Ô Ö Ý Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö ÓÒÐÝ ½ Ò ÙÔ ØÓ º ± Ý Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ¹ Ö Ò ÄÈ ½ º Á ÑÑÓÒ ÙÑ Ý ÖÓÜ ØÓ Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÑÑÓÒ ÑÓÐ ÙÐ ÓÑÔ Ø Û Ø Ø Ð ÑÓÒÓÑ Ö Ò Ø Ö Ø ÓÒ Û Ø ÙÖ¹ Ý ÖÓÜÝÐ ÒÓÖÔÓÖ Ø Ò Ò ØÖÓ Ò ØÓÑ Ò Ø ÐÑ Ò ÔÖÓ Ù Ò Ð ÓÒ ÓÜÝÒ ØÖ º Ê ÔÓÖØ ÐÝ Ø ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ó ÄÈ SiO 2 ÐÑ Ø Ú ÖÝ Ð ØØÐ Ý Ø ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ó Æ Ã Ò ÑÔÙÖ Ø Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ º ÓÖ ¹ Ò ØÓ À ÒÙÑ Ø Ðº ½ Ø ÑÔÙÖ ØÝ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ó Ø ÐÑ ÙÖØ Ö Ö Ù Ý Ø Ù Ó ÐÙÑ ÒÙÑ Ò Ø Ó ÓÖ Ò ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÔÖ Ô ¹ Ö Ø ÓÒº ÄÙ Ò ÀÛÙ ¼ Ö ÔÓÖØ Ø Ø Ø Ù Ó ÐÙÑ ÒÙÑ ÒÖ Ø Ð ØÖ Ö ÓÛÒ Ð Ó Ø SiO 2 ÐÑ Ò Ø Ö Ø Ò ØÓ Ö Ø ÓÒ Ñ Ù ØÓ Ø ÒÓÖÔÓÖ Ø ÓÒ Ó ÐÙÑ ÒÙÑ ØÓÑ Ò Ø ÐѺ

23 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½ º º Ð ØÖ Ð Ö Ø Ö Ø Ì Ð º½ ÔÖ ÒØ ÓÑ Ó Ø Ö ÔÓÖØ Ð ØÖ Ð Ö Ø Ö Ø Ó ÄÈ SiO 2 ÐÑ º Ì Ð ØÖ ÓÒ Ø ÒØ ǫ Ô Ò ÓÒ Ø ÑÓÙÒØ Ó ÙÓÖ Ò ÒÓÖÔÓ¹ Ö Ø Ò Ø ÐÑ Ò ÔÓ Ð ÔÓ Ø¹ ÔÓ Ø ÓÒ ÒÒ Ð Ò Ø Ô º Ì Ð ¹ ØÖ ÓÒ Ø ÒØ Ò Ò ÒØÐÝ ÐÓÛ Ö ÖÓÑ Ø Ø Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ ǫ º ½ Ôº ¼¾ µ Û Ù ÙÐ ÓÖ Ö Ù Ò Ø Ô Ö Ø Ô Ø Ò Ò ÒØ Ö Ø ÖÙ Ø º Ì Ö ÓÛÒ ÚÓÐØ V BD µ Ö ÐÓÛ Ö Ø Ò Ø ½¾ ÅÎ»Ñ ØÝÔ Ð ØÓ Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ôº Ò ÜÔ Ø ÓÖ ÔÓ Ø ÓÜ º Ì Ð º½ Ê ÔÓÖØ Ð ØÖ Ð Ö Ø Ö Ø Ó ÄÈ SiO 2 ÐÑ ÈÖÓÔ ÖØÝ Î ÐÙ Ê Ö Ò ǫ º º ¾ º º º ½ º¼ º ½ º º V BD º º¾ ÅÎ»Ñ ÅÎ»Ñ ÅÎ»Ñ ÅÎ»Ñ ¾ J leak º Ò»Ñ 2 ) ¾ º ¼ Ò»Ñ 2 ) ½ Ò»Ñ 2 ) ) Ø ¾ ÅÎ»Ñ ) Ø ÅÎ»Ñ Ì Ð º¾ ÔÖ ÒØ ÑÓÖ Ø Ð Ð ÙÖÖ ÒØ Ò ØÝ Ø Ý Ø Ðº ½ Ñ ÙÖ ÖÓÑ Ì ¹ÄÈ ÔÓ Ø Ø ÓÜ º Ä ÙÖÖ ÒØ Û Ö Ñ ÙÖ ÔÓ Ø Ò Ø Ö ¼ Ñ ÒÙØ Ó ÒÒ Ð Ò Ò Ò ØÖÓ Ò Ø ¼¼ Cº ÒÒ Ð Ò ÔÔ Ö ØÓ Ö Ø Ò ÙÐ Ø Ò ÔÖÓÔ ÖØ Ó Ø ÐÑ ÑÓÖ ÒÓ¹ Ø ÐÝ ÓÖ ÐÑ ÔÓ Ø Ø Ö Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ù ØÓ Ø Ö Ö Ø Ö ÒÙÑ Ö Ó Ø ÖÑ Ò Ø Ò ÓÒ Ò Ù ÕÙ ÒØ Ø Ö Ø ÙÖ Ò ÒÒ Ð Ò º Ì Ð º¾ Ä ÙÖÖ ÒØ Ò ØÝ Ò Ì ¹ÄÈ ÔÓ Ø SiO 2 ½ Ä ÙÖÖ ÒØ ÔÓ Ø ÓÒ Ò ØÝ na/cm 2 µ Ø ÑÔº Cµ ¹ ÔÓ Ø ÒÒ Ð ½ º º¼ ¾ º ¾ ¼ ¾¼¼¼

24 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½ º º º½ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ì Ò ÐÑ ØÖ Ò ØÓÖ Ì Ò ÐÑ ØÖ Ò ØÓÖ Ì Ì µ Ö Ù Û Ø Ò Ú Ò Ø Ú Ñ ØÖ Ü Ð ÕÙ ÖÝ Ø Ð ÔÐ Ý º ÓÖÑ Ø ÓÒ Ó Ø Ø Ò ÙÐ ØÓÖ Ò ÔÓÐÝ Ð ÓÒ Ì Ì Ý Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ Ö Ø Ð ØÖÓÒ ÑÓ Ð ØÝ Û Ö Ø ÓÑÑÓÒ ÐÓÛ¹ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÐØ ÖÒ Ø Ú È Î ÓÑÔÐ Ü ÔÖÓ Ö ÕÙ Ö Ò ÜÔ Ò Ú ÕÙ ÔÑ ÒØ Ò Ô ÐÐÝ ÙÐØ ÓÖ Ð Ö ¹ Ö Ú Ù ÓÑÔÙØ Ö ÔÐ Ý º Ø Ðº Ú Ù ÙÐÐÝ ÔÔÐ ÄÈ ØÓ ÓÖÑ Ø Ò ÙÐ ØÓÖ Ò ØÙ Ø Ø Ó ÒÒ Ð Ò ÓÒ Ø ÄÈ Ø Ò ÙÐ ØÓÖº Ì ÐÓÛ ÔÖÓ Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ó ÄÈ Ñ ÓÖ Ú ÒØ Ô ÐÐÝ Û Ò ÔÖÓ Ò ÓÒ Ó Ð Ñ Ð Ù ØÖ Ø º ÁÒ Ð Ö ¹ Ö Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÒ Ù Ä Ý ÖÓ Ò Ø ÑÓÖÔ ÓÙ Ð ÓÒ ¹Ë Àµ Ò Ò ÒØ Ö Øº Ë Ð ÓÒ Ò ØÖ Û ÐÝ Ù Ø Ò ÙÐ ØÓÖ Ò Ù Ú ÙØ Ø Ù Ö ÖÓÑ Ñ Ò Ð ØÖ º Ë Ð ÓÒ ÓÜ ÔÓ Ø Ý ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÐÓÛ¹Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Ó ÒÓØ Ú Ø ØÓÖÝ Ö ÙÐØ ÓÒ ¹Ë À Ù ØÓ Ò ØÝ Ó ÒØ Ö Ø Ø º ÄÈ SiO 2 Ø ÓÛ Ú Ö Û Ö Ù Ý Ò Ä Ò ÒÚ ÖØ Ø Ö ¹Ë À Ì Ì Û Ó ØÖÙØÙÖ Ô Ø Ð Ø Ö Ò º º ÖÓ ¹ Ø ÓÒ Ð Ú Ûº ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð Ì Ì Ô Ø Ò º º ºµ ÓÒ Ð Ù ØÖ Ø Ò Ø Ö ÙÐ Ò ÒØ Ö ÔÖÓÔ ÖØ Û Ö ÓÙÒ ØÓ ÓÑÔ Ö Ð ØÓ È Î Si 3 N 4 º ÒÓØ Ö ÔÖÓ Ð Ñ Ò ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÔÓÐÝ¹Ë Ì Ì Ø Ð Ö Ó ¹ Ø Ø Ð Ó Ø ØÖ Ò ØÓÖ Ù ØÓ Ð Ñ ÓÒ Ú Ö Ò ÓÙÒ ÖÝ ØÖ Ô º Ý ÒÓÖÔÓÖ Ø¹ Ò Ð ØÐÝ ÓÔ Ö Ò Ä µ Ö ÓÒ ØÛ Ò Ø Ø Ú ÒÒ Ð Ò Ú ÐÝ ÓÔ ÓÙÖ Ò Ö Ò Ö ÓÒ Ø Ð ØÖ Ð Ò Ø Ù Ø Ð ÙÖÖ ÒØ Ò ÐÓÛ Ö º º º Ô Ø Ø ÔÖÓ º ÁÒ º Ø Ä ÓÔ Ò Ð Ú Ð Ø Ý ÐÓÛ¹ Ó ÓÒ ÑÔÐ ÒØ Ø ÓÒ Û Ð Ø ÔÓÐÝ Ð ÓÒ Ø ÔÖÓØ Ø Ø ÙÒ ÖÐÝ Ò Ø Ú ÒÒ Ð Ö ÓÒº ÇÜ Ô Ö Ö Ø Ò ÓÖÑ ÓÒ ÓØ Ó Ø Ø Ö ÐÓÛº ¹ Ó ÓÒ ÑÔÐ ÒØ Ø ÓÒ Ø Ò Ô Ö ÓÖÑ ØÓ ÓÖÑ Ø ÐÝ ÓÔ ÓÙÖ Ò Ö Ò Ö ÓÒ Û Ð Ø Ô Ö ÔÖÓØ Ø Ø Ä º º µº ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð Ñ Ø Ó Ó ÓÖÑ Ò Ø Ô Ö ÒÐÙ Ø Ö Ò Ø ÓÒ Ý Ò Ü¹ ØÖ Ð Ø Ó Ö Ô Ø Ô Ò Ø Ò ÓÖ Ø ÓÒ ÓÖÑ Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø Ð Ý Ö Ó ÓÜ º º µ Ò Ò ÓØÖÓÔ Ø ¹ Ý Ö Ø Ú ÓÒ Ø Ò ÊÁ µº ÙÖ Ò ÊÁ Ø ÓÜ Ø ÑÓ ØÐÝ Ò Ø Ú ÖØ Ð Ö Ø ÓÒ Ò Ú ÖÝ Ð Ø¹ ØÐ ÓÖ ÞÓÒØ ÐÐÝ Ó Ø Ô Ö Ö Ñ Ò Û Ö Ø ÔÓ Ø ÓÜ Û Ø Ø Ò Ø Ú ÖØ Ð Ö Ø ÓÒ º º µº ÓØ Ñ Ø Ó Ú Ø Ö ÔÖÓ Ð Ñ Ø Ð Ø Ó Ö Ô Ñ Ø Ó ÐÝ Ö ÙÐØ Ò Ð ÒÑ ÒØ ÖÖÓÖ Û Ö Ø Ø Ñ Ø Ó Ñ Ý Ù ÔÐ Ñ Ñ ÙÖ Ò ÊÁ º ØØ Ö ÐØ ÖÒ Ø Ú Û ÔÖÓ¹ ÔÓ Ý Ë Ø Ðº ¾½ ¾ Û Ó Ù ÄÈ ØÓ ÖÓÛ Ò ÓÜ Û ÐÐ Ô Ö Ò Ò Ð Ø Ô Ö ÕÙ Ö Ò Ò Ø Ö Ð Ø Ó Ö Ô Ý ÒÓÖ Ø ¹ º º µº Ì Ñ Ø Ó Ö Ð ÓÒ Ø Ð Ø Ú Ò ØÙÖ Ó ÄÈ º º ÔÓ Ø ÓÒ ÓÙÖ ÓÒ Ø ÜÔÓ Û ÐÐ Ó Ø ÔÓÐÝ Ð ÓÒ Ø ÙØ ÒÓØ ÓÒ Ø ÙÒ ÖÐÝ Ò Si 3 N 4 ÐÑ

25 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½ ÓÖ ÓÒ Ø Ô ÓØÓÖ Ø ÓÚ Ö Ò Ø Ø º LPD spacers a) photoresist poly-si gate poly-si oxidized Si nitride oxide d) Etchback b) LPD oxide e) oxide f) c) source drain LDD regions ÙÖ º ÓÖÑ Ø ÓÒ Ó Ä Ô Ö Ý ÄÈ Ò ÔÓ Ø ÓÒ» Ø ¾½ º Ì Ó Ö Ý Ò Ø Ø ÓÔ Ò Ð Ú Ð Ò Ø ÔÓÐÝ Ð ÓÒ Ð Ý Öº º º¾ ÓÒØ Ø ÓÐ Ì Ð Ø Ú ØÝ Ó ÄÈ Ò ÙÖØ Ö ÙØ Ð Þ Ò ÐØ ÖÒ Ø Ú Ñ Ø Ó Ó Ô ØØ ÖÒ Ò SiO 2 Ð Ý Ö º Ø Ðº ¾ ÑÓÒ ØÖ Ø Ø Û Ø ÓÒØ Ø ÓÐ Ò Ò +»Ô Ò Ë ÓØØ Ý Ó º Ù ØÓ Ø Ò ÓØÖÓÔ Ò ØÙÖ ÊÁ Ù Ù ÐÐÝ Ù ØÓ ÓÔ Ò ÓÒØ Ø ÓÐ º ÊÁ ÓÛ Ú Ö Ù ÙÖ Ñ Ò ÓÒØ Ñ Ò Ø ÓÒ Ó Ø ÙÒ ÖÐÝ Ò Ð Ý Ö Ò Ö Ø ÓÒ Ñ Ö ÙÐØ Ò Ò Ü Ö Ò SiO 2»Ë ÒØ Ö ØÖ Ô º Ð Ó ÓÚ Ö Ø Ò Ò Ù ÔÖÓ Ð Ñ Ô ÖØ ÙÐ ÖÐÝ Ò ÙÐØÖ ¹ ÐÐÓÛ ÙÒØ ÓÒ Ú º Í Ò ÄÈ ØÓ ÓÖÑ ÓÒØ Ø ÓÐ º º µ ÚÓ ÐÐ Ø ÔÖÓ Ð Ñ º Ì Ó ÔÖÓ Ý Ø Ðº Ü Ø Ñ ÐÐ Ö Ö Ú Ö ÙÖÖ ÒØ Ò Ö Ø Ö ÓÖÛ Ö ÙÖÖ ÒØ Ò Øݺ ÁÒ Ø ÓÒ Ø Ë ÓØØ Ý Ó ÓÖÑ Ý Ø ÄÈ Ñ Ø Ó Ô Ö ÓÖÑ Ö ÓÒ ÐÝ Û ÐÐ Ú Ò ÓÖ ÒØ Ö Ò Û Ö Ø ÊÁ ÑÔÐ Ö ÕÙ Ö ÒØ Ö Ò ØÓ Ö Ð Ö Ù Ò Ü Ø Ò ÓÖ Ö ØÓ ÛÓÖ Ø Ðк

26 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ½ 1. Lithography 2. Oxide LPD photoresist silicon 1. Thermal oxidation oxide silicon 2. Lithography photoresist LPD oxide 3. Oxide etching 3. Resist removal 4. Metalization aluminum 4. Photoresist removal 5. Metalization aluminum ÙÖ º ÌÛÓ Ñ Ø Ó Ó ÓÒØ Ø ÓÐ ÓÖÑ Ø ÓÒ ¾ º º ÅÇË Ì ÐÓÛ ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ð Ø Ú ØÝ Ò ÓÒ ÓÖÑ Ð ØÝ Ó ÄÈ Ò Ð Ó Ù ØÓ ÑÔÐ Ý ÅÇË ÔÖÓ Ò º Ã Ò Ø Ðº ¾¾ ¾ Ö ÔÓÖØ ÑÔÐ ÅÇË ÔÖÓ Ù Ò ÓÒÐÝ Ñ ØÓ Ö Ø Ñ Ø Ð Þ Ø ÓÒ Ò Ø Ó ÑÓÖ ØÝÔ¹ Ð ½ Ñ µ ÙØ Ð Þ Ò ÄÈ Ò Ô ÓØÓÖ Ø Ñ Ö Ú Ö Ð Ò Ò Ø ÓÖÑ Ø ÓÒ Ó Ð ¹ Ð Ò Û ÐÐ Ô Ö º º º ÓÛ Ø ÓÖÑ Ø ÓÒ Ó ÒØ Ò Ò Ô¹ØÝÔ Û ÐÐ Ý ÓÒ ÑÔÐ ÒØ Ø ÓÒ Ù Ò ÓÒÐÝ Ò Ð Ñ º Ì Ò¹Û ÐÐ ÑÔÐ ÒØ Û Ø Ô Ó Ô ÓÖÓÙ Ø ÖÓÙ Ø Ò SiO 2 Ð Ý Ö Û Ð Ø Ô¹Ö ÓÒ Ð Ý Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ñ º µº Ø ÓÜ Ð Ý Ö Ø Ò ÔÓ Ø Ý ÄÈ º µº ÔÓ Ø ÓÒ ÓÙÖ ÓÒÐÝ ÓÒ Ø ÙÒÑ Ö Ð Ú Ò Ö Ú Ö ÔÓÐ Ö ØÝ Ñ Û Ò Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ö ÑÓÚ º µº Ì Ô¹Û ÐÐ Ö Ù ÕÙ ÒØÐÝ ÑÔÐ ÒØ Û Ø ÓÖÓÒ Ù Ò Ø ÄÈ ÓÜ Ñ º ÁÒ Ø Ñ ÅÇË ÔÖÓ Ø ÓÜ Ô Ö ÓÖ Ä Ñ Ò ÒÒÓØ ÓÖÑ Ò ¾½ ¾ º º µ Ò Ø ÔÓÐÝ Ð ÓÒ Ø Ö ÒÓ ÐÓÒ Ö ÓÚ Ö Û Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ò Ø ÙÒ ÖÐÝ Ò ÐÑ SiO 2 Ò Ø Ó Si 3 N 4 º ÁÒ Ø Ø Ø ¹ ÔÖÓ º º µ Ù Û Ø Ø Ø ÓÜ Ò ÔÓ Ø Ý ÄÈ º

27 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ¾¼ a) P implantation n well photoresist oxide silicon b) LPD oxide n well c) B implantation LPD oxide n well p well ÙÖ º ÓÖÑ Ø ÓÒ Ó Ò¹ Ò Ô¹Û ÐÐ ÓÖ ÅÇË ¾ º º ÈÐ Ò Ö Þ Ø ÓÒ ÍÐØÖ Ð Ö ¹ Ð ÒØ Ö Ø Ú Ó Ø Ò Ù ÑÙÐØ ÔÐ Ð Ý Ö Ó Ñ Ø Ð Û Ö ØÓ ÓÒÒ Ø ØÓ Ø Ö Ö ÒØ Ô ÖØ Ó Ø Ö٠غ ÌÓ Ñ ÒØ Ò Ð Ò Û Ø ØÓÐ Ö¹ Ò ÓÒ Ø ÙÔÔ Ö Ð Ú Ð ÔÐ Ò Ö ÙÖ ÑÙ Ø ÓÖÑ ÔÖ ÓÖ ØÓ Ñ Ø Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ô ØØ ÖÒ Ò º ÀÓÑÑ Ø Ðº ¾¼ Ú Ú ÐÓÔ ÔÐ Ò Ö Þ Ø ÓÒ Ñ Ø Ó ÙØ Ð Þ Ò Ð Ø Ú ØÙÒ Ø Ò Î Ò SiO 2 ÄÈ º º º ÓÙØÐ Ò Ø ÔÖÓ º Ì Ö Ø Ñ Ø Ð Þ Ø ÓÒ Ð Ý Ö ÔÓ Ø Ý ÔÙØØ Ö Ò Ò Ô ØØ ÖÒ Ý ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÊÁ º µº SiO 2 ÖÓÛÒ Ð Ø Ú ÐÝ Ý ÄÈ ÓÚ Ö Ø ÙÒ¹ ÖÐÝ Ò ÓÜ ØÓ Ø Ñ Ø Ø ØÙÒ Ø Ò Û Ö Ò Ò Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ö ÑÓÚ º µº Æ ÜØ Ø Ò SiO 2 ÔÓ Ø ÓÚ Ö Ø ÒØ Ö ÙÖ Ý È Î Û Ø Ð Ý Ö ÓÖ Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø ÄÈ ÓÜ º µº ÄÈ ÓÜ Ù Ù Ó Ø ÐÓÛ Ð ØÖ ÓÒ Ø ÒØ Ò Ø Ö ÓÖ Ñ ÐÐ Ö Ô Ø Ò ØÛ Ò Ñ Ø Ð Ð Ý Ö º Î ÓÐ Ö Ø Ý ÊÁ Ò ÐÐ Ý Ð Ø Ú Î Ó ØÙÒ Ø Ò º µ Ø Ö Û Ø ÓÒ Ñ Ø Ð Ð Ý Ö ÔÙØØ Ö Ò Ô ØØ ÖÒ ÓÖ º µº Ò Ø Ðº ¾ Ð Ó ÔÖÓÔÓ ÔÐ Ò Ö Þ Ø ÓÒ Ø Ò ÕÙ ÓÒ SiO 2 ÄÈ Ù Ø Ð ÓÖ ÔÐ Ò Ö Þ Ò ÒÚ ÖØ Ø Ö Ì Ì ØÓ Ö Ù Ø Ö Ø Ð ÙÖÖ Òغ Ï Ò ÐÓÛ Ö ÔÖÓ Ò Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ø ÒÒ Ö Ø Ð ØÖ Ò Ø Ö Ø Ö Ù Ø Ð ÙÖÖ ÒØ ÒÖ Ø Ø ÓÖÒ Ö Ó Ø Ø Û Ö Ø Ò ÙÐ ØÓÖ Ø ÒÒ Ø Ô Ø Ò º º º Ì Ò ÚÓ Ý ÔÐ Ò Ö Þ Ò Ø ØÖÙØÙÖ ÔÖ ÓÖ ØÓ Ð ØÖ ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ò ÙÒ ÓÖÑ Ð ØÖ Ø Ò Ò Ø Ö ÓÖ Ö Ù Ø Ð ÙÖÖ Òغ º º ¹ Ô Ø Ø Ö ÔÖÓ Ò Ø ÓÒÚ ÒØ ÓÒ Ð ÒÚ ÖØ Ø Ö Ì Ì ÔÖÓ º Ö Ø Ø Ñ Ø Ð Ø Ö ØÐÝ ÓÚ Ö Ø º µ Ò SiO 2 ÔÓ Ø Ý ÄÈ º Ì Ø Ò Ó Ø ÄÈ SiO 2 ÐÑ Ö Ø Ö Ø Ò Ø Ø Ó Ø Ø Ó Ø

28 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ¾½ a) photoresist W oxide silicon b) LPD oxide c) LPD oxide CVD oxide d) e) ÙÖ º ÅÙÐØ Ð Ú Ð ÔÐ Ò Ö Þ Ø ÓÒ Ý ÄÈ ¾¼

29 À ÈÌ Ê º ÄÁÉÍÁ ÈÀ Ë ÈÇËÁÌÁÇÆ ¾¾ ÙÒ ÖÙØ Ò Ø Ø Ô ÓØÓÖ Ø ÓÑÔÐ Ø ÐÝ ÐÐ º µº Ø Ö Ö ÑÓÚ Ò Ø Ô ÓØÓÖ Ø ÔÐ Ò Ö Þ ÙÖ ÜÔÓ ÓÚ Ö Û Ø Si 3 N 4 Ø Ò¹ ÙÐ ØÓÖ ÒØÖ Ò ¹Ë À Ò Ò¹ ÓÔ ¹Ë À Ö ÖÓÛÒ Ý È Î º µ Ò Ô ØØ ÖÒ ÒØÓ ÓÙÖ Ò Ö Ò Ö º µº LPD planarization Conventional a) photoresist metal gate glass substrate metal gate glass substrate b) e) thin insulator LPD oxide nitride c) n-doped a-si a-si nitride d) source drain source drain ÙÖ º ÁÒÚ ÖØ Ø Ö Ì Ì ÔÐ Ò Ö Þ Ø ÓÒ Ý ÄÈ ¾

30 ÔØ Ö ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð Ñ Ø Ó º½ Å Ø Ö Ð ½¼¼ ÑÑ Ò Ð ¹ ÔÓÐ Ð ÓÒ Û Ö Ó ½¼¼µ ÓÖ ÒØ Ø ÓÒ Û Ö Ù Ù ØÖ Ø ÓÖ ÑÓ Ø ÔÓ Ø ÓÒ º ÁÒ ÑÓ Ø Ø Û Ö Û Ö ÖÓ Ò ÒØÓ Ô Ö Øº À Ü ÙÓÖÓ Ð H 2 Si 6 µ Û Ó Ø Ò ¾ ± Ý Û Øµ ÕÙ ÓÙ Ó¹ ÐÙØ ÓÒ ÖÓÑ ÖÓ ÇÖ Ò ÙØ Ð Ø Ö ØÓ Ò ØÓ ± ÓÐÙØ ÓÒ ÖÓÑ Ä Ò Ø Ö ËÝÒØ Ù ØÓ ÙÔÔÐÝ ÔÖÓ Ð Ñ º ± ÓÐÙØ ÓÒ ÐÙØ Û Ø Á¹ Û Ø Ö ØÓ ¾ ± ÔÖ ÓÖ ØÓ ØÙÖ Ø ÓÒ Û Ø SiO 2 Û ÓÙÒ ØÓ Ô Ö ÓÖÑ Ñ Ð ÖÐÝ ØÓ Ø ÓÖ Ò Ð ¾ ± ÓÐÙØ ÓÒº ÀÝ ÖÓÙ SiO 2 Ð SiO 2 xh 2 O Å ÐÐ Ò ¹ ÖÓ Ø Ñ Ðµ Û Ù ØÓ ØÙÖ Ø Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ º ÓÖ º ± º ̺ Öµ Û ÓÐÚ Ò Á¹Û Ø Ö Ò ÐÙØ ÒØÓ ØÓ ÓÐÙØ ÓÒ Ó ¼º½ Ò ¼º mol/dm 3 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒº ¾½ ÔÓ Ø Ú Ô ÓØÓÖ Ø ÖÓÑ Ð Ö ÒØ Û Ù ÓÖ Ñ Ò ÑÔÐ Ò Ð Ø Ó Ö Ô ÐÐÝ Ô ØØ ÖÒ Ò Si 3 N 4 ¹ ÐÑ º À À ÓØ Ö ØÓÒ Ò ÓÔÖÓÔ ÒÓÐ Û Ö ÐÐ ÎÄËÁ Ë Ð Ø ÔÙÖ Ö Ñ Ð ÖÓÑ Å Ö º Ú ÔÓÖ Ø Ñ Ø Ð Û Ö ÔÙÖ ØÝ ÖÓÑ Ú Ö ÓÙ ÙÔÔÐ Ö º º¾ ÕÙ ÔÑ ÒØ Ì Ð ÕÙ Ô ÔÓ Ø ÓÒ Û Ö ÖÖ ÓÙØ Ò Ì ÓÒ Ú Ð ÓÒ Ø Ò¹ Ö Ñ Ò Ø Ø ÖÖ Ö¹ ÓØÔÐ Ø º ÓÖ Û ÓÐ ¹Û Ö ÔÓ Ø ÓÒ ½½ ÑÑ ÒÒ Ö Ñ Ø Ö ½ ¼ ÑÑ Ú Ð Û Ù ÓÖ Ñ ÐÐ Ö ÑÔÐ Ø Ö Ô Ø Ú Ñ Ò ÓÒ Û Ö ÑÑ ½½¼ ÑѺ Ì ÓÒ¹Ó Ø Èع½¼¼ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Û Ù ØÓ ÓÒØÖÓÐ Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Û Ø ½ C ÙÖ Ýº Ì Ñ Ñ Ò Ø Ø ÖÖ Ö Û Ò Ø ÐÐÝ Ù ÓÖ ØÙÖ Ø Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Û Ø SiO 2 ÙØ Ò ÓÚ Ö¹ Ø ÖÖ Ö Û Ð Ø Ö Ù Ø ØÙØ Ù ØÓ Ø Ö Ô Û Ö Ó Ø Ø ÖÖ Ö Ñ Ò Ø³ ¾

31 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Å ÌÀÇ Ë ¾ Ì ÓÒ Ó Ø Ò º ÈÓÐÝÔÖÓÔÝÐ Ò Ö Û Ö Ù Ò Ø ØÙÖ Ø ÓÒ Ø Ô Ò ÓØ Ö Ø Ô Û Ö Ø Ò Û ÒÓØ Ö ÕÙ Ö º Ð Û Ö Û ÚÓ Ù ØÓ Ø ÓÖÖÓ Ú Ò Ó À ¹ ÓÐÙØ ÓÒ Ò ØÓ ÔÖ Ú ÒØ ÙÒÛ ÒØ ÔÓ Ø ÓÒ Ó SiO 2 ÖÓÑ ÙÔ Ö ØÙÖ Ø ÓÐÙØ ÓÒ ÓÒØÓ Ð ÓÒØ Ò Ö Û ÐÐ º ÔÓ Ð ¼º¾ ññ ÐÐÙÐÓ Ø Ø ÐØ Ö ÖÓÑ Ë Ð Ö ² Ë Ù ÐÐ Û Ö Ù ØÓ ÐØ Ö SiO 2 ¹ÓÒØ Ò Ò H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ º Ì ÓÐÙØ ÓÒ Û Ö ÛÒ ÒØÓ ¼ ÑÐ ÝÖ Ò Ø ÐØ Ö Û ØØ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Û ÓÖ Ø ÖÓÙ Ø ÐØ Öº È ÓØÓÖ Ø Ñ ÑÔÐ Û Ö ÔÖ Ô Ö Ý Ø Ò Ö ÓÔØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ý Ù ¹ Ò Ò Ð ØÖÓÒ Î ÓÒ Î ¾¼ ÜÔÓ ÙÖ ØÓÓÐ Û Ø ½ ññ Ñ Ò ÑÙÑ Ð Ò Û Ø º È ÓØÓÖ Ø Ð Ò Û Ö Ø ÒÒ Û Ø ÓÜÝ Ò ÔÐ Ñ Ò Ò ÇÜ ÓÖ ÈÐ Ñ Ì ¹ ÒÓÐÓ Ý Ö ØÓÖ Ù Ò ¼¼ Ï ÔÓÛ Ö Ø ¼ ÀÞ Ò Ñ ÓÜÝ Ò ÓÛ Ø ¼¼ ÑÌÓÖÖ ¼ È µ ÔÖ ÙÖ ÔÔ Ò Ü µº Ì ÒÒ Ò Ó Ô ÓØÓÖ Ø Û ÑÓÒ¹ ØÓÖ Û Ø Ü Ó Ô Å Ë ½¼ Ö ØÓÑ Ø Ö Ø λ ¼ ¼ ÒѺ Ý Ö Ô Ø ÐÝ Ñ ÙÖ Ò ½º ññ Ø Ô ÓØÓÖ Ø ÑÔÐ Ø Ø Ñ ÔÓØ Ø ÔÖ ÓÒ Ó Ø Ö ØÓÑ Ø Ö Û ÓÙÒ ØÓ ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó ¼º¾±º Ë Ð ÓÒ Ò ØÖ ÑÔÐ Û Ö ÔÖ Ô Ö Ý È Î ÇÜ ÓÖ ÈÐ Ñ Ì ÒÓÐÓ Ýµ Ù Ò ½¼¼ Ï ÔÓÛ Ö Ø ½ ÀÞ Ò ¼¼ ÑÌÓÖÖ ¼ È µ ÔÖ ÙÖ º ÌÛÓ ÓÑÔÓ¹ Ø ÓÒ Ó Ð ÓÒ Ò ØÖ Û Ö ÔÖ Ô Ö Ö Ò Ò ØÓ ÓÑ ØÖÝ Ò Ø Ö ÓÖ Ö Ö Ø Ú Ò Üµ Û Ø ½ ¼»¾º» ¼ Ñ Ò ½ ¼»» ¼ Ñ Ë À 4»ÆÀ 3»Æ 2 ÓÛ Ö Ø Ë À 4 Û ½± Ò Ö ÓÒµº Ì Ö Ö Ö Ø Ú Ò Û Ö ½º Ò ½º Ö Ô Ø Ú Ðݺ Ì Si 3 N 4 ÑÔÐ Û Ö Ô ØØ ÖÒ Ý ÓÔØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ý Ò Û Ø Ø Ò Ò À º ÓÔÔ Ö ÐÚ Ö Ò ÓÐ Ô ØØ ÖÒ ÓÖ Ø Ø Ò Ø Ð Ø Ú ØÝ Ó SiO 2 ÄÈ Û Ö ÔÖ Ô Ö ÓÒ Ð ÓÒ Û Ö Ý Ø ÖÑ Ð Ú ÔÓÖ Ø ÓÒ Û Ø Ò Û Ö ¼ Ó Ø Ò Ý Ø Ñº Ì ÑÔÐ Û ÔÐ ÓÚ Ñ Ø Ð Ñ Ø Ò ÓÛ Ñ Ó ÒÓ Ð Ø Ó Ö Ô Ý Ò Ø Ò Û Ò ÖÝ ÓÖ Ô ØØ ÖÒ Ò º ÖÓÑ ÙÑ Ò ØÙÒ Ø Ò Û Ö ÔÓ Ø Ý ÔÙØØ Ö Ò Û Ø Ò ÇÜ ÓÖ ÈÐ Ñ Ä ËÝ ¹ Ø Ñ ¼¼ ÔÙØØ Ö Ý Ø Ñº ÖÓÑ ÙÑ Û Ô ØØ ÖÒ Ý ÓÔØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ý Ò Û Ø Ø Ò Û Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ó ÐÙØ Ô Ö ÐÓÖ Ò Ce(NH 4 ) 2 (NO 3 ) 6 Û Ö ØÙÒ Ø Ò ÓÙÐ ÒÓØ Ø º Ì Ñ Ø Ð Ø Ò Ñ ÙÖ ÖÓÑ Ô ØØ ÖÒ ÑÔÐ Ý ÔÖÓ ÐÓÑ Ø Ö Û Ö ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó ¼ ÒÑ ÐÚ Öµ ¾ ¼ ÒÑ ÓÔÔ Öµ Ò ½¼¼ ÒÑ ÓÐ Ò ÖÓÑ Ùѵº º ÔÓ Ø ÓÒ ÔÖÓ ÙÖ À Ü ÙÓÖÓ Ð ÓÐÙØ ÓÒ Û ØÙÖ Ø Ý Ò SiO 2 Ò Ø ÖÖ Ò ÓÖ ¾ ÓÙÖ ÓÖ ÐÓÒ Öº Ï Ò ØÙÖ Ø ÓÐÙØ ÓÒ Û ØÓÖ ÓÖ Ð Ø Ö Ù Ø SiO 2 ÔÓÛ Ö Û ÒÓØ Ö ÑÓÚ Ò ÓÖ Ö ØÓ Ò ÙÖ ØÙÖ Ø ÓÒ Ú Ò Ø Ö ÜØ Ò ØÓÖ º ÈÖ ÓÖ ØÓ ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÖÓÛØ Ú Ð Ø ÖÖ Ö Ñ Ò Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Ò ÑÔÐ ÓÐ Ö Û Ö ÐÐ Ó Ò À ÓÖ Ú Ö Ð Ñ ÒÙØ Ò Ø Ò Ö Ò Û Ø Á¹Û Ø Ö ØÓ Ò ÙÖ ÒÓ SiO 2 Ô ÖØ Ð Û Ö ÔÖ Òغ

32 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Å ÌÀÇ Ë ¾ Ì ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÔÖ Ô Ö Ò ØÛÓ Û Ý º º ÓÒ Ô ½ µ ÒÓØ ÖÓÙØ Á Ò ÖÓÙØ ÁÁº ÁÒ ÖÓÙØ Á Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ö Ø ÐØ Ö Ò Ø Ò Û Ø Ö Ò ÓÖ Ö º ÁÒ ÖÓÙØ ÁÁ Û Ø Ö ØÓ Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ÐÖ Ý Ò Ø ØÙÖ Ø ÓÒ Ø Ò ÒÓ Û Ø Ö ØÓ Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ö ÐØ Ö Ò º ÓØ Ñ Ø Ó Û Ö Ø Ø ÙØ ÖÓÙØ Á Û ÔÖ ÖÖ Ò Ñ ÐÐ Ö ÚÓÐÙÑ Ó Ð ÕÙ Ò ØÓ ÐØ Ö º Ì Ö ÕÙ Ö ÑÓÙÒØ Ó H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Û ÐØ Ö Ö ØÐÝ ÒØÓ Ø ÖÓÛØ Ú Ð Ò Ñ ÙÖ ÑÓÙÒØ Ó H 3 BO 3 Ò Û Ø Ö Ñ Ü ØÓ Ø Ö Û Ö Û Ð Ø ÖÖ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒº Ì ÓÐÙØ ÓÒ Û Ø Ò Ø ØÓ Ø Ö Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ò ÑÔÐ Û Ö ÑÑ Ö ÓÖ Ø Ö Ø Ñ Û Ð ÓÒØ ÒÙ Ò ØÓ Ø Öº Ø Ö ÖÓÛØ Ø ÑÔÐ Û Ö Ö Ò Ò Á¹Û Ø Ö ÓÖ Ú Ñ ÒÙØ Ò ÐÓÛÒ ÖÝ Û Ø Ò ØÖÓ Òº Ï Ö Ò ÓÜ ÐÑ Ó Ú Ò Ø Ò Û Ö ÕÙ Ö Ñ ÐÐ Ö Ö Ò ÑÔÐ Û Ö ÑÑ Ö Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ØÓ Ø Ö Û Ø Ø Ñ Ò ÑÔÐ º Ì Û Ö Ö ÑÓÚ Ò Ø Ö Ø Ò Ñ ÙÖ ÓÖ Ø ÜÔ Ø ÖÓÛØ Ø Ñ ÜÔ Ö º Ì ØÓØ Ð Ø Ñ Ö ÕÙ Ö ÓÖ Ø Ñ Ò ÑÔÐ Û ÐÙÐ Ø ÖÓÑ Ø Ö Ö Ò ÑÔÐ ³ Ó ÖÚ ÖÓÛØ Ö Ø º ÒÓØ Ö ÔÓ Ð ØÝ Ó ÑÓÒ ØÓÖ Ò ÐÑ ÖÓÛØ ØÓ Ù ÕÙ ÖØÞ ÖÝ Ø Ð Ñ ÖÓ Ð Ò Ø Ðº Ö ÔÓÖØ ÓÖ TiO 2 ÔÓ Ø ÓÒº Ì ÔÔÖÓ Û ÓÛ Ú Ö ÒÓØ ÔÙÖ Ù Ö º º Ö Ø Ö Þ Ø ÓÒ ÐÐ Ô ÓÑ ØÖÝ Û Ø ÔÖ Ñ ÖÝ Ñ Ø Ó ÓÖ Ø ÖÑ Ò Ò ÓÜ ÐÑ Ø Ò Ò Ö Ö Ø Ú Ò Ü nº È Ð Ô Ë ¾ ¼¼ ÐÐ Ô ÓÑ Ø Ö ÓÔ Ö Ø Ò Ø λ ¾º ÒÑ Û Ù º Ì Ý Ø Ñ Ó Ö ØÛÓ ÑÓ ÓÖ Ñ ÙÖ Ñ ÒØ Ó Ø Ò n Û Ö Ø Ò Ò Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ö ÐÙÐ Ø µ Ò Ü n Û Ö Ø Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ò Ý Ø ÓÔ Ö ØÓÖ Ò Ø Ø Ò ÐÙÐ Ø ÓÖ Ò Ðݵº Ì ÓÖÑ Ö Û Ù ÓÖ ÑÓ Ø Ñ ÙÖ Ñ ÒØ Û Ð Ø Ð ØØ Ö Û Ù ÓÖ ÜØÖ Ñ ÐÝ Ø Ò ÐÑ Û Ö Ø Ñ ÙÖ Ú ÐÙ Ó n Ñ Ý ÙÒÖ Ð Ð º Ý Ö Ô Ø ÐÝ Ñ ÙÖ Ò ÒÑ ÄÈ SiO 2 ÑÔÐ Ø Ø Ñ ÔÓØ Ø ÔÖ ¹ ÓÒ Ó Ø ÐÐ Ô ÓÑ Ø Ö Û ÓÙÒ ØÓ ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó ¼º¼¾± Ò ÓØ Ø Ò Ö Ö Ø Ú Ò Üº Ø ÔÖÓ ÐÓÑ Ø Ö Û Ù ØÓ Ø ÖÑ Ò Ð Ø Ú ØÝ ØÓ Ð ÓÒ Ò ØÖ Ý Ñ ÙÖ Ò Ø Ø Ô Ø Ø Ø Ó Ø Si 3 N 4 Ô ØØ ÖÒ ÓÖ Ò Ø ÖSiO 2 ÄÈ º Ë Ð Ø Ú ØÝ ØÓ Ñ Ø Ð Û Ø ÖÑ Ò Ý ÑÑ Ö Ò Ø ÔÓ Ø ÑÔÐ Ò Ù Ø Ð ÓÐÙØ ÓÒ º Ê Ø Ò ØÓ ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ø ÓÚ Ö ÖÓÛØ Ó SiO 2 Û Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø Ñ Ø Ð Ò Ø Ð Ø Ú ØÝ ØÓ ÔÓ Ø ÓÒº Ë Ò ØÙÒ Ø Ò ÓÙÐ ÒÓØ Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ô ØØ ÖÒ Û ÓÖÑ ÓÒ ØÓÔ ÄÈ Û Ô Ö ÓÖÑ ÓÐÐÓÛ Ý Ö ÑÓÚ Ð Ó Ø Ô ÓØÓÖ Øº Ì ÔÖ Ò Ó ÔÓ Ø ÐÑ Û Ø Ø Ý Ñ ÙÖ Ò ÓÖ Ø Ô Ø Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ô ØØ ÖÒ Û Ø Ø ÔÖÓ ÐÓÑ Ø Öº

33 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Å ÌÀÇ Ë ¾ ËŹ ¼ ÒÒ Ò Ð ØÖÓÒ Ñ ÖÓ ÓÔ Û Ù ØÓ Ü Ñ Ò Ô ÓØÓÖ Ø¹ Ñ ÑÔÐ Û Ø Ø Ð Ý Ö Ó ÄÈ ¹ÓÜ º Ï Ø Ó ÔÐ Ñ ¹Ø ÒÒ Ô ÓØÓÖ Ø Ð Ò Û Ö Ð Ó Ø ÖÑ Ò Ý Ë Åº ÅÓ Ø ÑÔÐ Û Ö ÔÙØØ Ö¹ Ó Ø Û Ø Û Ò ÒÓÑ Ø Ö Ó ÓÐ ÔÖ ÓÖ ØÓ Ë Å¹ Ø٠ݺ Ì Ø Ö Ø Ó Ø ÔÓ Ø ÓÜ Û Ñ ÙÖ Ò ½± Ý Û Øµ ÕÙ ¹ ÓÙ À ¹ ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÓÑÔ Ö ØÓ Ø Ø Ö Ø Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ò Ø Ñ ÓÐÙØ ÓÒº Ë ÑÔÐ Ó ÓÜ Û Ö Ø ÓÖ Ö ÒØ Ð Ò Ø Ó Ø Ñ Ò Ø Ö Ø Ò ÓÖ Ò Ø Ö Ø Ò Û Ö Ñ ÙÖ Ý ÐÐ Ô ÓÑ Ø Öº Ì ¹ Ò Û Ö Ñ ÙÖ Ø Ú Ö Ð ÔÓ ÒØ Ò Ú Ö º Ë Ò Ø Ò ÓÒØ ÒÙ ÓÖ ÓÖØ Ø Ñ ÙÖ Ò Ö Ò Ò Ó Ø ÑÔÐ Ò ÒØ ÖÖÓÖ Ñ Ý Ö ÙÐØ Ô ÐÐÝ Û Ò Ú ÖÝ Ø Ò ÓÜ ÐÑ Ö Ò Ñ ÙÖ º Ì ÖÖÓÖ Û Ö ÚÓ Ý ÔÐÓØØ Ò Ø Ø Ø Ò Ú Ö Ù Ø Ø Ø Ñ Ò ÐÙÐ Ø Ò Ø Ø Ö Ø ÖÓÑ Ø ÐÓÔ Ó Ø Ð Ò º ÌÓ ÒÚ Ø Ø Ø Ð ØÖ Ð ÔÖÓÔ ÖØ Ó ÄÈ SiO 2 ÐÑ ÅÇË Ô ØÓÖ ØÖÙØÙÖ Û Ö Ö Ø Ë Ø ÓÒ º µº Ì Ö Ô Ø Ò Û Ö Ñ ¹ ÙÖ Û Ø À ÛÐ ØØ È Ö ½ ¾ Ä ÑÔ Ò Ò ÐÝÞ Ö Ò Ø Ö Ð ÙÖÖ ÒØ Ò Ö ÓÛÒ ÚÓÐØ Û Ø À ÛÐ ØØ È Ö ½ Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ô Ö Ñ Ø Ö Ò ÐÝÞ Öº º ÅÇË Ô ØÓÖ ÔÖÓ ÅÇË Ô ØÓÖ ØÖÙØÙÖ Û Ø ÄÈ SiO 2 Ð ØÖ Û Ö Ö Ø ÓÒ ÓÖÓÒ¹ ÓÔ Ð ÓÒ Û Ö Ó ¼º¼¾ ¼º¼ Ω Ñ Ö Ø Ú Øݺ ¾ ÒÑ Ó ÓÜ Û ÔÓ Ø ÖÓÑ ÓÐÙØ ÓÒ Ó ½ ¼ ÑÐ ¾ ± H 2 Si 6 ¾¾ ÑÐ H 2 O Ò ¾ ÑÐ ¼º½ mol/dm 3 H 3 BO 3 Ø Cº Ì ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ñ Û ½ Ñ ÒÙØ º È ÓØÓÖ Ø Û ÔÙÒ ÓÒ Ø ÖÓÒØ Ó Ø Û Ö Ò Ø Û Ø Ö Ó ÓÜ Û Ø À º Ì Ô ÓØÓÖ Ø Û Ö ÑÓÚ Ö Ø Û Ø ØÓÒ Ø Ò Û Ø ÓÔÖÓÔ ÒÓÐ Ò Ò ÙÐØÖ ÓÒ Ø º ¾¼¼ ÒÑ Ó ÐÙÑ ÒÙÑ Û ÔÙØØ Ö ÓÒ Ø ÖÓÒØ ÙÖ Ó Ø Û Öº ¼¼ ¼¼ ½¼¼ ½¼¼ Ò ¼ ¼ ññ ÐÙÑ ÒÙÑ ÕÙ Ö Û Ö Ô ØØ ÖÒ Ý ÓÔØ Ð Ð Ø Ó ¹ Ö Ô Ý Ò Ø Ò Û Ø Å Ö ÈË ¼¹½¼ Ô Ó Ô ÓÖ Ø Òغ Ò ÐÐÝ Ø Ô ÓØÓÖ Ø Û Ö ÑÓÚ ÓÖ º Ì Ù ØÖ Ø ÓÒØ Ø Û Ñ ÓÒ Ø Ó Ø Û Ö Ý ÔÖ Ò Ø Ò ÐÑ Ó Ò Ùѹ ÐÐ ÙÑ ÙØ Ø Ñ ÜØÙÖ Û Ð ÕÙ Ø ÖÓÓÑ Ø Ñ¹ Ô Ö ØÙÖ º Ì ÙÖ Û Ø Ò Ö Ø Ø ÓÖÓÙ ÐÝ Û Ø ÑÓÒ Ö ØÓ Ö Ø Ò Ø Ú ÓÜ Ð Ý Öº Ì Û Ý ÓÓ Ð ØÖ Ð ÓÒØ Ø ØÓ Ø ÐÓÛ¹Ö Ø Ú ØÝ Û Ö Û Ó Ø Ò º

34 ÔØ Ö ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð Ö ÙÐØ º½ ÖÓÛØ Ö Ø Ì Ú Ö ÖÓÛØ Ö Ø Ó ÄÈ SiO 2 Û Ö Ø ÖÑ Ò ÙÒ Ö Ú Ö ÓÙ ÖÓÛØ ÓÒ Ø ÓÒ Ò Û Ø Ö ÒØ ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑÔÓ Ø ÓÒ º ÊÓÙØ Á Ë ¹ Ø ÓÒ º ÓÖ º µ Û Ù ØÓ ÔÖ Ô Ö Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ º ¾ ± H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ØÙÖ Ø Û Ø Ð Û Ù Ò ÐÐ ÜÔ Ö Ñ ÒØ º Ì ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ú Ò Ò Ø ÖÑ Ó ÐØ Ö H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ÚÓÐÙÑ ÚÓÐÙÑ Ó ¼º½ mol/dm 3 H 3 BO 3 ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÚÓÐÙÑ Ó Á¹Û Ø Öº Ì Ù ØÖ Ø Û Ö Ô Ó Ð ÓÒ Û Ö Ú Ö Ð Ñ Ò ÓØ Ñ Ò ÓÒ º Ì Ø Ò Ó Ø ÔÓ Ø SiO 2 Û Ñ ÙÖ Ø Ú Ö Ð ÔÓ ÒØ ÓÒ Ø Ù ¹ ØÖ Ø º Ì ÔØ Ö ÔÖ ÒØ ÓÒÐÝ Ø Ò Ö Ð Ö ÙÐØ Ó Ø Ò º Ì ØÙ Ð Ñ ÙÖ Ñ ÒØ Ø ÒÐÙ Ò ÔÔ Ò Ü º Ë Ò ÒØ Ú Ö Ø ÓÒ Û Ò Ò ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ØÛ Ò ÜÔ Ö Ñ ÒØ Û Ø ÒØ Ð ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑÔÓ Ø ÓÒ º ËÙ Ú ÔÓ Ø ÓÒ ÖÓÑ Ø Ñ ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÛ Ú Ö ÓÛ ÓÓ Ö Ô Ø Ð ØÝ Ò Ú ÖÝ Ð ØØÐ Ö Ò ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÓÚ Ö Ø Ñ Ò Ø Ò Ú ÖÝ Ð ØØÐ ÔÐ Ø ÓÒ Ó Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ù ØÓ ÔÓ Ø ÓÒ Ó SiO 2 µº Ì Ö ÓÖ ØÓ Ø Ù ØÐ Ø Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Û Ø Ö Ò H 3 BO 3 Ø ÓÒ ÓÒÐÝ Ò Ð ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Û ÔÖ Ô Ö ÓÖ ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ò Ø ÓÑÔÓ Ø ÓÒ ÓÖ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Û Ò ØÛ Ò ÔÓ Ø ÓÒ º º½º½ Ì Ø Ó Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ì Ø Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Û ÒÚ Ø Ø Ý Ô Ö ÓÖÑ Ò ¼¹Ñ ÒÙØ ÔÓ Ø ÓÒ Ø ¾ ¼ Ò ¼ Cº Ì ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Û ½¼¼ ÑÐ H 2 Si 6 ½ ÑÐ H 3 BO 3 Ò ½¼ ÑÐ H 2 Oº Ì Ð º½ Ú Ø Ö ÙÐØ Û Ö ÔÖ ÒØ Ö Ô ÐÐÝ Ò º º½º ¾

35 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË ¾ Ì Ð º½ Ø Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ì ÑÔº Cµ Ê Ø ÒÑ» µ Ê Ö Øº Ò Ü ¾ ½ º½ ½º ¼ ½ º ½º ½ ¾ º ½º ¾ ¼ º ½º ¾ ÌÓ Ó Ø Ò ÖÓÙ Ø Ñ Ø Ó Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ò Ø Ú ØÝ Ó Ø ÔÖÓ Ø ÓÚ Ø ØØ ØÓ Ð Ò Ö Ö Ö ÓÒ ÑÓ Ð Rate nm/h = Temperature C Î Ö Ø ÓÒ Ò ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÙÒ Ö ÒÓ ÖÙÑ Ø Ò ÜÔ Ø ØÓ ÛÓÖ Ø Ò ½ C Ó Ú Ö Ø ÓÒ Ò Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ù ØÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÙØÙ¹ Ø ÓÒ ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó ½ ÒÑ» º Ì Ò Ø Ú ØÝ ØÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ú Ö Ø ÓÒ Û ÐÐ ÒÖ Û Ø ÒÖ Ò ÔÖÓ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ø Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ô Ò Ò ÒÓØ Ð Ò Ö º º½µº Deposition rate (nm/h) Temperature (C) ÙÖ º½ Ø Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ

36 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË ¾ Ì Ø Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ñ Ý Ù ØÓ ØÛÓ ØÓÖ Ø Ò Ø ÕÙ Ð Ö ÙÑ Ö Ø ÓÒ º½ ÓÒ Ô µ ØÓ Ø Ö Ø ÓÖ Ò ØÓ Ä Ø Ð Ö³ ÔÖ Ò ÔÐ ÓÖ ÒÖ Ò Ø Ö Ø ÓÒ Ö Ø ÓÒ Ø ÒØ ÓÖ Ò ØÓ Ø ÖÖ Ò Ù ÕÙ Ø ÓÒ k = Ae Ea/RT º½µ ÌÓ ÒÚ Ø Ø Ø Ñ Ò ØÙ Ó Ø ØÛÓ ØÓÖ Ø ÓÐÐÓÛ Ò ÜÔ Ö Ñ ÒØ Û Ô Ö ÓÖÑ Ö Ø ¼ ÑÐ Ó ØÙÖ Ø ¾ ± H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ÑÐ Ó H 2 O Ò º ÑÐ ¼º½ mol/dm 3 H 3 BO 3 ÓÐÙØ ÓÒ Û Ö Ù ØÓ Ô Ö ÓÖÑ Ø Ò Ö ÖÓÙØ Á ÔÓ Ø ÓÒ Ø Cº Æ ÜØ ¾ ± H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Û ØÙÖ Ø Û Ø SiO 2 Ý Ø ÖÖ Ò ¾ ÓÙÖ Ø Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ó Cº ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ó ÒØ Ð ÓÑÔÓ Ø ÓÒ ØÓ Ø ÔÖ Ú ÓÙ ÓÒ Û ÔÖ Ô Ö Ò ÔÓ Ø ÓÒ Û ÖÖ ÓÙØ Ø Ø Ñ Cº Ò ÐÐÝ Ì ¹ÄÈ Û ØØ ÑÔØ Ý ÑÔÐÝ ØÙÖ Ø Ò ¾ ± Ò ± H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Û Ø SiO 2 Ø ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ò Ø Ò Ø Ñ ØÓ C ÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ Û Ø ÒÓ Ö ÒØ º Ì Ð º¾ ÔÖ ÒØ Ø Ö ÙÐØ º Ì Ð º¾ Ø Ó Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÒÖ ÓÚ Ö ØÙÖ Ø ÓÒ Ú Ö Ù ÓÚ Ö ÐÐ Ö ¹ Ø ÓÒ Ö Ø Ê Ø Ê Ö Øº ÒÑ» µ Ò Ü ÆÓÖÑ Ð ÖÓÙØ Á ½ º ½º Ë ØÙÖ Ø ÓÒ Ø C ½ º ¾ ½º Ì ¹ÄÈ ± H 2 Si 6 ) Ì ¹ÄÈ ¾ ± H 2 Si 6 ¼ ) ) ) Å ÙÖ Ù Ò Ü n = ) Æ Ø Ú ÓÜ Ø Î ÖÝ Ð ØØÐ Ö Ò Ó ÖÚ Ò Ø ÖÓÛØ Ö Ø Û Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ØÙÖ Ø Ø ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ò Ø Ø Ò Ð ÖÓÛØ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ º Ì ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ý ÓÒÐÝ Ø Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Û ÐÑÓ Ø Ò Ð Ð ÓÖ ± H 2 Si 6 Ò ¾ ±H 2 Si 6 ØÙ ÐÐÝ Ø Ø Ò Ø Ú ÓÜ ÖÓÑ Ø Ù ØÖ Ø º ÁØ Ò Ø Ö ÓÖ ÓÒÐÙ Ø Ø Ø Ò Ú ÖÝ Ð ØØÐ Ø ÓÒ Ø ÕÙ Ð Ö ÙÑ Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÙØ Ö Ø Ö ÒÖ Ø ÓÚ Ö ÐÐ Ö Ø Ó Ø Ö Ø ÓÒ Ö Ú Ò Ý Ø Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö Ò»ÓÖ H 3 BO 3 º Ý ÛÖ Ø Ò Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø r = kc Û Ö k Ø Ö Ø ÓÒ Ö Ø Ó ÒØ Ò C ØÓÖ ÒÓÖÔÓÖ Ø Ò Ø Ö ÒØ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Û Ò Ù Ø ØÙØ k Ò ÕÙ Ø ÓÒ º½ Ò Ö ÛÖ Ø Ø lnr = E a R 1 T +lna+lnc Ï Ò Ø Ø Ò Ì Ð º½ ØØ ØÓ Ð Ò Ö ÑÓ Ð lnr = a 1 T Ø Ú Ø ÓÒ Ò Ö Ý E a = a R = 45 »ÑÓÐ Ó Ø Ò º º¾µ + b Ø

37 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË ¼ º½º¾ Ì Ø Ó ÓÖ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ¼¹Ñ ÒÙØ ÔÓ Ø ÓÒ Û Ö Ô Ö ÓÖÑ Ø C ØÓ ÒÚ Ø Ø Ø Ø Ó ÓÖ Ø ÓÒº Ì ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Û ½¼¼ ÑÐ H 2 Si 6 Ò ½¼¼ ÑÐ H 2 O Û Ø ¼ ½¼ ¾¼ Ò ¼ ÑÐ ÚÓÐÙÑ Ó H 3 BO 3 º ÓÚ Ø ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ Ó SiO 2 Û Ó ÖÚ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ ÓÓÒ Ø Ö H 3 BO 3 Ø ÓÒº Ì Ð º ÓÛ Ø Ö ÙÐØ Û Ö ÔÖ ÒØ Ö Ô ÐÐÝ Ò º º¾º Ì Ð º Ø Ó ÓÖ Ø ÓÒ H 3 BO 3 Ø ÓÒ ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ê Ö Øº ÑÐ µ Ñmol/dm 3 µ ÒÑ» µ Ò Ü ¼ ¼ º ¼ ½º ¾º ½¾º ½º ¼ ½¼ º ½ º ½º ¾ ¾¼ º½ ¼º ½º ¼ ½ º ¾º ½º ¾ Deposition rate (nm/h) Boric acid addition (ml) ÙÖ º¾ Ø Ó ÓÖ Ø ÓÒ ØØ ØÓ Ð Ò Ö Ö Ö ÓÒ ÑÓ Ð Ø Ø Ý Ð Rate nm/h = H 3BO 3 volume ml

38 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË ½ Ì ÚÓÐÙÑ Ó ÓÖ Ò ÓÒØÖÓÐÐ Û Ø ØØ Ö Ø Ò ¼º ÑÐ ÙÖ Ý Ó Ø Ú Ö Ø ÓÒ Ò ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÓÙÐ Ð Ø Ò ½ ÒÑ» º º½º Ì Ø Ó Û Ø Ö Ø ÓÒ ÁÒ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ó H 2 Si 6 Ø ÓÒ Ó Ñ ÐÐ ÑÓÙÒØ Ó Û Ø Ö Ò ÒÖ Ø Û Ø Ö ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ó Ø ÓÐÙØ ÓÒ Û Ø ÓÙØ Ö ØÐÝ Ö Ù Ò Ø H 2 Si 6 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒº ÁÒ ÐÙØ H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ÓÒ Ø ÓØ Ö Ò Ø ÓÒ Ó ÑÓÖ Û Ø Ö Ð ØØÐ Ø ÓÒ Ø Û Ø Ö ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ÙØ Ó ÙÖØ Ö ÐÙØ Ø H 2 Si 6 º Ì Ö ÓÖ ÓÒ ÛÓÙÐ ÜÔ Ø ØÓ Ò ÖØ Ò ÓÔØ ÑÙÑ Ö Ø Ó Ó H 2 Si 6 ØÓ H 2 O Û Ö Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ö Ø Øº ÌÓ ÒÚ Ø Ø Ø Ø Ó Ø Û Ø Ö ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ÔÓ Ø ÓÒ Û Ö Ô Ö ÓÖÑ Ý Ò Ú Ö ÓÙ ÑÓÙÒØ Ó Û Ø Ö ØÓ ½¼¼ ÑÐ Ó ØÙÖ Ø ¾ ± H 2 Si 6 ÓÐÙ¹ Ø ÓÒº H 3 BO 3 Û Ð Ó ÓÖ Ò ÐÝ ØÓ Ô Ø ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ÓÒ Ø ÒØ Ø ÖÓÙ ÓÙØ Ø ÜÔ Ö Ñ Òغ Ì Ñ ÜÔ Ö Ñ ÒØ Û Ô Ö ÓÖÑ Ø Ú Ö Ð H 3 BO 3 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ º Ì ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Û C Ø ÖÓÙ ÓÙغ Ì Ð º ÙÑÑ Ö Þ Ø Ö ÙÐØ º Ê ÙÐØ Û Ø Ò ÒÓÑ ÐÓÙ ÐÝ Ð Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Û Ö ÐÛ Ý ÓÑÔ Ò Ý ÖÔ Ö Ò Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ò Ú Ø Ö ÓÖ Ò ØØÖ ÙØ ØÓ ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ Ó ÓÜ Ò Ú Ò Ö ÑÓÚ ÖÓÑ Ø Ø Ð º Ì ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ö Ð Ó ÔÐÓØØ Ò º º º Ì Ð º Ø Ó Û Ø Ö Ø ÓÒ ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÒÑ» µ ÌÓØ Ð H 3 BO 3 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ H 2 O º Ñmol/dm 3 µ Ñе º¾ º º½ ½¾º¼ ¼ º¾ ½ º ½ º¾ ¼º ½¼¼ ½ º ¾¾º½ ¾ º ¼º ½ ¼ ½ º¼ ¾ º½ ¾ º ½º½ º ¾¼¼ ½ º ¾½º ¾ º º ¾ ¼ ½ º¼ ½ º ¾ º½ ¼¼ ½ º Ü ÔØ ÓÖ Ø Ö ÙÐØ Ù Ò Ø Ø ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ó H 3 BO 3 Û Ö ÔÖ ¹ Ô Ø Ø ÓÒ Ù ÔÖÓ Ð Ñ ÐÖ Ý Ò Ø ÖÐÝ Ø Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ö Ð Ö Ñ Ü ÑÙÑ Ò ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø ÖÓÙÒ Ø ½ ¼ ÑÐ H 2 O ½¼¼ ÑÐ H 2 Si 6 Ö Ø Ó ÓÖÖ ÔÓÒ Ò ØÓ ¼º mol/dm 3 H 2 Si 6 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒµº Ì Ö Ø Ó ÔÔ Ö Ò Ô Ò ÒØ Ó Ø H 3 BO 3 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒº

39 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË ¾ Deposition rate (nm/h) Boric acid concentration: 12.0 mmol/l 9.1 mmol/l 6.3 mmol/l 3.2 mmol/l Water addition (ml) ÙÖ º Ø Ó Û Ø Ö Ø ÓÒ º½º Ì Ø Ó Ø Ò Ø Ð À 2 Ë 6 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ì ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ù Ò ± H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ú ØÐÝ Ö Ø Ö Ø Ò Û Ø ¾ ± ÓÐÙØ ÓÒ ÙÒ Ö Ø Ñ ÓÒ Ø ÓÒ Ò SiO 2 Ð Ó Ò ØÓ ÔÖ Ô Ø Ø ÑÓÖ Ðݺ ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Û Ø ¼ ÑÐ ± H 2 Si 6 ¼ ÑÐ H 2 O Ò ÑÐ H 3 BO 3 Ø C Ò ØÓ ÔÖ Ô Ø Ø Ò Ð Ø Ò ¼ Ñ ÒÙØ Ò ÔÖÓ Ù Ú ÐÝ ÐÓÙ Ý ÐÑ º ÀÓÛ Ú Ö ÒÓ H 3 BO 3 ÓÖ Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ô Ö ÓÖÑ Ø ÖÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÓÙØ ¾¼ Cµ ØØ Ö ÐÑ Ö Ó Ø Ò º ËÓÑ Ö ÙÐØ Ö ÔÖ ÒØ Ò Ì Ð º º Ì Ð º ÖÓÛØ Ö Ø ÖÓÑ ± H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ì ÑÔº ± H 2 Si 6 H 2 O H 3 BO 3 Ê Ø Ê Ö Øº Cµ Ñе Ñе Ñе ÒÑ» µ Ò Ü ¼ ¾ ¼ º¼ ½º ÊÌ ) ¾ ½ º ¼ º½ ) ÊÌ ¾ ½ º ¾ º ½º ÊÌ ¾ º ½ º¾ ½º ÊÌ ¾ ¾º ¾ º ½º ) ÊÓÓÑ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ¾¼ C ) Å ÙÖ Ù Ò Ü n = 1.465

40 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË Á ± H 2 Si 6 ÐÙØ ØÓ ¾ ± ÓÖ ØÙÖ Ø Ò Ø Û Ø SiO 2 Ñ Ð Ö Ö ÙÐØ Ö Ó Ø Ò Û Ø Ø ÓÖ Ò Ð ¾ ± H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ó ÖÚ Ö¹ Ò Ò ÔÓ Ø ÓÒ Ö Ø Û Ø Ò Ø Ú Ö Ø ÓÒ Ö Ò ØÝÔ ÐÐÝ Ò Û Ø ¾ ± ÓÐÙØ ÓÒ º º¾ º¾º½ ÐÑ Ö Ø Ö Ø Ê Ö Ø Ú Ò Ü Ò Ø Ò ÙÒ ÓÖÑ ØÝ Ì Ö Ø Ò ØÓÖ Ó ÐÑ ÕÙ Ð ØÝ Ø Ö Ö Ø Ú Ò Üº Ì Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ó Ø ÖÑ Ð SiO 2 ½º º ÓÖ ÄÈ SiO 2 Ø Ö Ö Ø Ú Ò Ü ØÝÔ ÐÐÝ Ð ØÐÝ Ð ÖÓÙÒ ½º ¾ ½º º ÖÔ Ö Ò Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ó ÖÚ ÑÑ Ø ÐÝ ÓÖ SiO 2 Ò ØÓ ÔÖ Ô Ø Ø Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ò ¹ ÔÓ Ø ÐÑ ÓÑ ÐÓ٠ݺ Ì Ù Ö Ö Ø Ú Ò Ü Ó Ð Ø Ò ½º ÖÚ Ò Ø Ú Û ÖÒ Ò Ø Ø Ø ÔÓ Ø ÓÒ Û ÒÓØ Ò Ö ÐÝ Ù ÙÐ Ú Ò Ø ÐÑ Ú Ù ÐÐÝ Ð Öº Ì ÙÒ ÓÖÑ ØÝ Ó Ø ÔÓ Ø ÐÑ Ü ÐÐ Òغ ÌÓ Ò ÓÑ Ó Ø Ð ØÝ Ó Ø ¹ÔÖÓ Ò Ý ÄÈ ØÛÓ Û ÓÐ Û Ö Û Ö ØØ ØÓ ÑÔÐ ÓÐ Ö Û Ø ÓÙØ ÑÑ Ø Ò ØÛ Ò Ø Û Ö º Ì Ý Û Ö Ø Ò ÑÑ Ö ÓÛÒ Ò ÄÈ ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ò ½½ ÑÑ ÒÒ Ö Ñ Ø Ö Ö Û Ø Ñ Ò Ø Ø ÖÖ Ö ÓÒ Ø ÓØØÓѺ Í Ò ½ ¼ ÑÐ H 2 Si 6 ¾¾ ÑÐ H 2 O Ò ¾ ÑÐ H 3 BO 3 Ø C Ñ ÒÙØ ÔÓ Ø ÓÒ Û Ô Ö ÓÖÑ Ý Ð Ò ÓÙØ ÒÑ Ó ÓÜ Ì Ð º µº Ì Ø Ò Ö Ú Ø ÓÒ Ó Ø ÓÜ Ø Ò Ñ ÙÖ Ø ÔÓ ÒØ ÓÒ Ø Û Öµ Û ÓÒÐÝ ¼º ± ÓÖ Ø ÓØØÓÑ Û Ö ÐÓ Ö ØÓ Ø Ñ Ò Ø Ø ÖÖ Öµ Ò ¼º ± ÓÖ Ø ØÓÔ Û Ö Ö Ú Ò ÓÒ Ö ÐÝ Ð ÖÙÐ Ø ÓÒ Ó Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒµº Ð Ó Ø Ö Ò Ò ÔÓ Ø ÓÜ Ø Ò ØÛ Ò Ø ØÛÓ Û Ö Û ÓÒÐÝ ½±º ÐÐ Ø ÒÙÑ Ö ÓÑÔ Ö Ú ÖÝ Û ÐÐ Ú Ò ØÓ Ø ÖÑ Ð ÓÜ Ø ÓÒ Ò Ò Ø Ø Ü ÐÐ ÒØ Ù Ø Ð ØÝ Ó ÄÈ ÓÖ Ø ÔÖÓ Ò º Ì Ð º ÍÒ ÓÖÑ ØÝ Ó Ø ÔÓ Ø ÓÜ ÓÒ Û ÓÐ ½¼¼ ÑÑ Û Ö Ì Ò Ê Ö Ø Ú Ò Ü Î ËÌ Î Î ËÌ Î Òѵ Òѵ ±µ ±µ ÓØØÓÑ Û Ö º¾ ¼º½½ ¼º ½º ¼¾ ¼º¼¼¾ ¼º¾ ÌÓÔ Û Ö º ¼º½ ¼º ½º ¾ ¼º¼¼ ½ ¼º¾ ÁØ ÑÔÓÖØ ÒØ ØÓ ÒÓØ Ø Ø ÐÐ ÔÓ Ø ÓÒ Ú Ò ÖÖ ÓÙØ ÓÒ Ù ØÖ Ø Û Ø Ò Ø Ú ÓÜ ÓÒ Ø Ð ÓÒ ÙÖ º Á Ø ÓÜ Ö ÑÓÚ Ý ÔÔ Ò Ò ÐÙØ À ÑÑ Ø ÐÝ ÓÖ ÔÓ Ø ÓÒ Ú ÖÝ ÔÓÓÖ Ø Ò ÙÒ ÓÖÑ ØÝ Ó Ø Ò º ÍÒ Ö Ø Ñ ÓÒ Ø ÓÒ ½¼¼ ÑÐ H 2 Si 6 ½ ÑÐ H 3 BO 3 ½ ÑÐ H 2 O C ¼ Ñ ÒÙØ µ Ø SiO 2 ÐÑ ÔÓ Ø ÓÒ À ¹ ÔÔ ÑÔÐ

41 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË Ò ÒØÐÝ Ø ÒÒ Ö Ø Ò ÓÒ ÑÔÐ Û Ø Ø Ò Ø Ú ÓÜ ÔÖ ÒØ Ò Ü Ø ½¼ Ø Ñ Ö Ø Ö Ø Ò Ö Ú Ø ÓÒ Ò Ø Ò Ì Ð º µº Ì Ò Ø Ð Ý ÓÒ Ø Ó ÔÓ Ø ÓÒ ÓÒ Ö Ð ÓÒ ÙÖ º ÇÒ ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ò ÓÛ Ú Ö Ø ÕÙ Ð ØÝ Ó Ø ÔÓ Ø ÓÜ ÓÓ Ò Ò ÖÓÑ Ø Ö Ö Ø Ú Ò Üº Ì Ð º ÍÒ ÓÖÑ ØÝ Ó Ø ÔÓ Ø ÓÜ ÓÒ Ò Ø Ú ÓÜ Ò Ö Ð ÓÒ Ì Ò Ê Ö Ø Ú Ò Ü Î ËÌ Î Î ËÌ Î Òѵ Òѵ ±µ ±µ Æ Ø Ú ÓÜ ¼º ¼º½ ¼º ½º ¼ ¼º¼¼¾½ ¼º½ À ¹ ÔÔ ¾º ½º º¾ ½º ¼º¼¼ ¼º º¾º¾ Ø Ö Ø Ò À Ì Ð º ÔÖ ÒØ Ø Ö ÙÐØ Ó Ø Ò Ø ÖÑ Ð Ò ÄÈ ÓÜ Ò ½± À º Ì ÄÈ ÓÜ Ö ÙÐØ Ö Ð Ó ÓÛÒ Ò º º Ò Ü Ø ÓÓ Ð Ò Ö ØÝ Û Ø ÐÓÔ º º Ø Ö Ø µ Ó ¼º ÒÑ» ÓÖ ¾ ÒÑ»Ñ Òº Ì Ñ ÙÖ Ø Ö Ø Ó Ø ÖÑ Ð ÓÜ ÓÒ Ö ÐÝ Ð Ú Þº º ÒÑ»Ñ Òº Ì Ð º Ì Ò Ó Ø ÖÑ Ð Ò ÄÈ ÓÜ ÑÔÐ ÓÖ Ò Ø Ö Ø Ò Ò ½± À º Ì Ò Òѵ Ø Ø Ø Ñ ÓÖ Ø Ö Ø Ò Òѵ Ì ÖÑ Ð ÓÜ Ñ Ò ½ ½ ¾ ½¼ Ñ Ò ½ ½¾ ½ Ñ Ò ½ ¼ ½¼ ¾¼ Ñ Ò ½ ÄÈ ÓÜ ½¼ º ¼º½ º ¾¼ º ¾ º º ¼ º ½ º ½ º º¾º Ð ØÖ Ð Ö Ø Ö Ø ÅÇ˹ Ô ØÓÖ Ó Ø Ö Ö ÒØ Þ Û Ö Ñ ÙÖ Ø ½¼¼ ÀÞ Ö ÕÙ ÒÝ ¼º½ Î ÑÔÐ ØÙ Ò Þ ÖÓ ÚÓÐØ º Ì Ô Ø Ò Ó Ú Ö Ð Ô ØÓÖ Û Ö Ú Ö Ò ÖÓÑ Ø Ú ÐÙ Ø Ð ØÖ ÓÒ Ø ÒØ ǫ Ó Ø ÓÜ Ð Ý Ö Û ÐÙÐ Ø ÓÖ Ò ØÓ Ø ÕÙ Ø ÓÒ C = ǫǫ 0A d º µ

42 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË Etched thickness (nm) Etch time (sec) ÙÖ º Ø Ø Ò Ó ÄÈ ÓÜ Ú Ö Ù Ø Ñ Ò ÐÙØ À Û Ö C Ø Ô Ø Ò ǫ 0 = »Ñ Ø Ô ÖÑ ØØ Ú ØÝ Ó Ô A Ø Ö Ó Ø Ô ØÓÖ Ò d = Ñ Ø Ø Ò Ó Ø Ð ØÖ º Ì Ö ÙÐØ Ö Ø ÙÐ Ø Ò Ì Ð º º Ì Ð º Ô Ø Ò Ó ÅÇË Ô ØÓÖ Ò Ø ÐÙÐ Ø Ð ØÖ ÓÒ¹ Ø ÒØ Ó ÄÈ SiO 2 Ô ØÓÖ Ñ Ò ÓÒ Ö Ô Ø Ò ǫ ¼¼ ¼¼ ññ ¾ ¼ 10 9 Ñ 2 ½ Ô º ½¼¼ ½¼¼ ññ ½¼ 10 9 Ñ 2 º Ô º ¼ ¼ ññ ¾º 10 9 Ñ 2 ½º ¾ Ô º ÌÓ Ø ÖÑ Ò Ø Ö ÓÛÒ ÚÓÐØ Ó Ô ØÓÖ³ Ð ØÖ Ø ÚÓÐØ ÖÓ Ø Ô ØÓÖ Û Ö ÑÔ ÙÔ ÖÓÑ Þ ÖÓ Ø ¼º λ ÙÒØ Ð ÖÔ Ù ¹ Ò ÒÖ Ò Ð ÙÖÖ ÒØ Ò Ø Ð ØÖ Ö ÓÛÒ Ò º º º Ì Ñ ÙÖ Ñ ÒØ Û Ô Ö ÓÖÑ ÓÒ Ø Ð Ö Ø ØÛÓ Þ Ó Ô ØÓÖ ÓÒ ÑÔÐ Ò Ó ¼ º Ì ÙÑÙÐ Ø Ú ÐÙÖ Ô Ö ÒØ Ö ÔÐÓØØ Ò Ø Ø Ð ØÖ Ð Ò º Ò º Ø ØÙ Ð Ö ÓÛÒ ÚÓÐØ Ö Ð Ø Ò Ì Ð º Ò º½¼ Ò ÔÔ Ò Ü µº

43 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË Leakage current (na) Electric field (MV/cm) ÙÖ º Ð ØÖ Ö ÓÛÒ Ó ÅÇË Ô ØÓÖ ÓÖ Ø Ð Ö Ö Ô ØÓÖ º º µ ÓÑ ÐÙÖ Ö Ó ÖÚ ÐÖ Ý ÖÓÙÒ ½ ÅλѺ Ì Ñ Ý Ù ØÓ Ò Ú Ù Ð Ø Ò Ø ÓÜ ÐÑ Û Ö Ø ÒØÖ Ò Ö ÓÛÒ Ð ØÖ Ð Ó Ø ÓÜ ÓÒ Ø ÓÖ Ö Ó ÅÎ»Ñ Û Ö ÒÓØ Ð Ö Ò Ø ÒÙÑ Ö Ó ÐÙÖ Òº Ì ÒØ ÖÔÖ Ø Ø ÓÒ ÙÔÔÓÖØ Ý Ø Ø Ø Ø Ñ ÐÐ Ö ÒÙÑ Ö Ó Ø¹ Ò Ù ÐÙÖ Ò ÓÖ Ø Ñ ÐÐ Ö Ô ØÓÖ º º µ Ò Ø Ý Ú Ñ ÐÐ Ö ÙÖ Ö Ò Ö Ø Ö ÓÖ Ð Ð ÐÝ ØÓ ÓÒØ Ò Ñ ÓÖ Øº Ì Ð ÙÖÖ ÒØ Ò ØÝ Ó Ø ÓÜ Û Ñ ÙÖ Ø ¾ ÅÎ»Ñ ½ º Î ÓÖ Ø ¾ ÒÑ Ð ØÖ µº ÐÐ Ø Ö Þ Ó Ô ØÓÖ Û Ö Ñ ÙÖ ÓÛ Ú Ö Ø Ú Ð ØÝ Ó Ø Ö ÙÐØ Ó Ø Ò Û Ø Ø Ñ ÐÐ Ø Ô ØÓÖ ÕÙ Ø ÓÒ Ð º Ì Ñ ÐÐ Ö Ú Ö Ð ÙÖÖ ÒØ Ó Ø ½¼¼ ½¼¼ ññ Ô ØÓÖ Ñ Ý ÜÔÐ Ò Ý Ò Ú Ù Ð Ø ÓÚ º Ì Ñ ÙÖ Ñ ÒØ ØÙÔ Ü Ø Ô Ö Ø Ð ÙÖÖ ÒØ Ó ½ º Ô Û Ò ÓÖÖ Ø ÓÖ Ò Ø Ö ÙÐØ ÔÖ ÒØ Ò Ì Ð º½¼º Ì Ð º½¼ Ä ÙÖÖ ÒØ Ò Ø Ò ÄÈ SiO 2 Ø ¾ ÅÎ»Ñ Ô ØÓÖ Ä Ä Ñ Ò ÓÒ Ö ÙÖÖ ÒØ ÙÖÖ ÒØ Ò ØÝ ¼¼ ¼¼ ññ ¾ ¼ 10 9 Ñ 2 ½ ½¼ Ô ¾ Ò»Ñ 2 ½¼¼ ½¼¼ ññ ½¼ 10 9 Ñ 2 ¼º Ô ¼ Ò»Ñ 2 ¼ ¼ ññ ¾º 10 9 Ñ 2 ¾ º Ô ½½½¼ Ò»Ñ 2

44 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË Cumulative failures (%) Electric field (MV/cm) ÙÖ º ÙÑÙÐ Ø Ú ÐÙÖ Ô Ö ÒØ ÙÒØ ÓÒ Ó ÔÔÐ Ð ØÖ Ð ¼¼ ¼¼ ññ Ô ØÓÖ Cumulative failures (%) Electric field (MV/cm) ÙÖ º ÙÑÙÐ Ø Ú ÐÙÖ Ô Ö ÒØ ÙÒØ ÓÒ Ó ÔÔÐ Ð ØÖ Ð ½¼¼ ½¼¼ ññ Ô ØÓÖ

45 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË º Ë Ð Ø Ú ØÝ Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ç ÖÚ Ð Ø Ú ØÝ Ó SiO 2 ÄÈ ÓÒ Ú Ö ÓÙ Ñ Ø Ö Ð ÔÖ ÒØ Ò Ì ¹ Ð º½½º Ö Ð ÓÒ Û Ø Ø Ò Ø Ú ÓÜ Ö ÑÓÚ Ý À ØÖ ØÑ ÒØ Ü Ø Ð Ý ÖÓÛØ ÒÓØ ÔÖ Ú ÓÙ ÐÝ Ë Ø ÓÒ º¾º½µº ÓØ Ò ØÖ ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ë Ø ÓÒ º¾µ Û Ö Ø Ø ÓÖ Ð Ø Ú ØÝ ÙØ ÒÓ Ö Ò ØÛ Ò Ø ØÛÓ Û Ò Ò ÓÜ Û ÔÓ Ø ÓÒ ÓØ º ÐÙÑ ÒÙÑ ÓÐÚ Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ø Ö Ø Û Ø À Ë Ø ÓÒ º½µº Ì Ð º½½ SiO 2 ÔÓ Ø ÓÒ ÓÒ Ú Ö ÓÙ Ñ Ø Ö Ð Å Ø Ö Ð Ë Ð ÓÒ Ò Ø Ú ÓÜ µ Ë Ð ÓÒ À ¹ ÔÔ µ Ë Ð ÓÒ ÓÜ Ë Ð ÓÒ Ò ØÖ È ÓØÓÖ Ø È ÓØÓÖ Ø ÔÐ Ñ Ø ÒÒ µ ÈÅÅ ÐÙÑ ÒÙÑ ÖÓÑ ÙÑ ÓÔÔ Ö Ë ÐÚ Ö ÌÙÒ Ø Ò ÓÐ ÔÓ Ø ÓÒ Ð Ý ÆÓ ÆÓ ÆÓ ÓÐÚ ÆÓ ÆÓ ÆÓ º Å Ü ÑÙÑ Ø Ò Ó ÄÈ Ë Ç 2 Ñ ÓÖ ÔÖÓ Ð Ñ ÓÙÒ ØÓ ÓÙÖ Ò ÄÈ Ð ÕÙ Ô ÒÙÐ Ø ÓÒ Ò Ù ¹ ÕÙ ÒØ ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ Ó SiO 2 Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒº ÓÒØÖ ÖÝ ØÓ Ø Ð Ñ Ó Ò Ø Ðº ½ Ø Ø Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ý Ð Ö Ò Ò Ø ÐÝ ÐÓÛ ÖØ Ò ÓÖ ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ Ó Ú ÒØÙ ÐÐÝ ÓÙÖ Ú Ò Ø ÐÓÛ H 3 BO 3 ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒº È ÖØ Ð Ö ØÝÔ ÐÐÝ Ó ÖÚ Ø Ø ÙÖ Ó Ø ÓÐÙØ ÓÒ ÐÖ Ý Ø Ö ÓÙÖ º Ø Ø ÔÓ ÒØ Ð Ö Ð Ö ÔÓØ Ú Ð ÓÒ Ø ÙÖ¹ Ó Ø Ù ØÖ Ø ÙÖ Ò ÐÐ Ô ÓÑ Ø Ö Ñ ÙÖ Ñ ÒØ Ò Ø Ò ÓÑ ÙÖ ÖÓÙ Ò º ÓÒØ ÒÙ ÔÓ Ø ÓÒ Ö ÙÐØ Ò ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ Û Ø Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ú ÐÝ ÐÓÙ ÐÑ º ½¼¼ ÒÑ Ò ÓÙÒ ØÓ Ø ÔÖ Ø Ð ÙÔÔ Ö Ð Ñ Ø Ó Ø Ò Ð Ò Ò Ð ÔÓ Ø ÓÒ ÓÙØ ¼ ÒÑ ÒÓ ÙÖ ÖÓÙ Ò ØÓÐ Ö Ø º ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ô ÖØ Ð Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ù ØÖ Ø Ò ÒÐÙ Ò Ø ÖÓÛ Ò SiO 2 ÐÑ Ù Ò ÐÓÙ Ò Ò Ö Ò Ö Ö Ø Ú Ò Üº È ÖØ Ð Ñ Ý Ð Ó ÔÓ Ø ÓÒ Ô ÓØÓÖ Ø ÐÑ ÓÖ ÓØ Ö

46 À ÈÌ Ê º È ÊÁÅ ÆÌ Ä Ê ËÍÄÌË Ñ Ñ Ø Ö Ð ÓÒ Ø Ù ØÖ Ø Ù Ò ÄÈ SiO 2 ÓÚ Ö ÖÓÛØ º Ì Ë Å Ñ¹ Ò º º ÓÛ ÓÐÐÓÛ ØÖÙØÙÖ ÓÖÑ Ý ÓÚ Ö ÖÓÛØ ÓÒ Ô ÓØÓÖ Ø ÓÐÐÓÛ Ý Ô ÓØÓÖ Ø Ö ÑÓÚ Ð Ò ØÓÒ º Ë Ò ÓÜ ÔÓ Ø ÓÒ ÓÒØ ÒÙ ØÛ Ò Ò ÖÓÙÒ Ø ÔÖ Ô Ø Ø SiO 2 Ô ÖØ Ð Ù ÓÑÔÓ Ø ÐÑ Ñ Ý ØÖÙØÙÖ ÐÐÝ ÓÙÒ Ò ÕÙ Ø Ò Ò ÓÒ ÓÖÑ Ðº ÁÒ Ø Ø Ò Ò Û Ú Ô ØØ ÖÒ ÓÒ Ø Û ÐÐ Ó Ô ÓØÓÖ Ø Ð Ò Ú Ò Ò Ø ÙÐÐÝ Ö ÔÖÓ¹ Ù Ò Ô ÖØ Ð ¹ ÐÐ ÄÈ SiO 2 ÔÓ Ø º ÙÖ º ÈÖ Ô Ø Ø ÓÒ Ó ÓÜ Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ù SiO 2 ÓÚ Ö¹ ÖÓÛØ ÓÒ Ô ÓØÓÖ Ø Ð Ò º Ì Ô ÓØÓÖ Ø Ù ÕÙ ÒØÐÝ Ò Ö ÑÓÚ º Ì Ø ÓÒ Ó Û Ø Ö Û Ø ÓÙØ ÓÖ Û ÓÙÒ ÒÓØ ØÓ Ù Ò ÒØ ÓÜ ÔÓ Ø ÓÒº ÀÓÛ Ú Ö Ø Ø ÓÒ Ó Ð Ö ÑÓÙÒØ Ó Û Ø Ö ÒØÓ ØÙÖ Ø H 2 Si 6 ÓÐÙØ ÓÒ ÓÙÐ Ù ÑÓÑ ÒØ ÖÝ ÙØ Ù Ø ÒØ Ð ÙÔ Ö Ø¹ ÙÖ Ø Ø Ø º Ì ÙÔ Ö ØÙÖ Ø Ø Ø ÛÓÙÐ ÒÓØ Ð Ø ÐÓÒ ÙØ Ñ Ø ØÖ Ö Ø ÓÖÑ Ø ÓÒ Ó Ò ÒÓ¹ÖÝ Ø Ð Ó Ð ÓÒ ÓÜ Ò Ø ÓÐÙØ ÓÒº Ì ÖÝ Ø Ð ÛÓÙÐ Ð Ø Ö Ø ÒØ Ö ÓÖ ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒº ÄÈ Ý ÖÓÙØ ÁÁ Ë Ø ÓÒ º µ Û Ø Ö ÓÖ ÒÚ Ø Ø ÔÓ Ð ÓÐÙØ ÓÒ ØÓ Ø ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ ÔÖÓ Ð Ñº ÀÓÛ Ú Ö Ò Ó ÒÒ Ò ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ Û Ö Ú ÒØ Ò Ø ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ ÐÖ Ý Ø Ö ÓÙÖ ¼ Òѵ ÔÓ Ø ÓÒ Û Ø Ø ÐÐ Ô ÓÑ Ø Ö³ Ð Ö ÔÓØ Ð ÖÐÝ Ú Ð ÓÒ Ø ÑÔÐ ÙÖ Ò Ñ ÙÖ Ñ Òغ Ø Ó Ó ÓÐÙØ ÓÒ ÔÖ Ô Ö Ø ÓÒ ÖÓÙØ Ó ÒÓØ ÔÔ Ö ØÓ Ø Ø ÓÒ Ø Ó ÔÖ Ô Ø Ø ÓÒ ÖÓÙØ Á Ñ Ý ÔÖ ÖÖ Ò Ñ ÐÐ Ö ÑÓÙÒØ Ó Ð ÕÙ Ò ØÓ ÐØ Ö º

47 ÔØ Ö ÁÑ Ö Ú Ö Ð Ñ ÒØ ÓÒ Ò Ë Ø ÓÒ ¾º Ê ÔÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒ Ò Ù Ý ÃÙÖ Ö Ø Ðº ØÓ Ö Ú Ö Ø ÔÓÐ Ö ØÝ Ó Ô ÓØÓÖ Ø Ñ º Ì Ñ ÓÖÑ Ý Ä ÓÚ Ö Ò ÑÓÖÔ ÓÙ Ð ÓÒ Ð Ý Ö Û Ð Ø Ú ÐÝ ÓÜ Þ Ò Ø ÔÐ Ñ Û Ö ÒÓØ ÔÖÓØ Ø Ý Ø Ö Ø Ô ØØ ÖÒº Ì ¾ ÒÑ Ø ÓÜ Ô ØØ ÖÒ ÓÖÑ Ò Ø ÙÖ Ó Ø ¹Ë Ø Ö Ú Ö Ñ Ó Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ñ Ò Ò ØÖ Ò ÖÖ ÒØÓ Ø ¹Ë Ý Ø Ò º Ì ¹Ë Ô ØØ ÖÒ Ò ØÙÖÒ ØÖ Ò ÖÖ ÒØÓ Ò ÙÒ ÖÐÝ Ò Ø Ö ÓÜ Ð Ý Ö Û Ø Ò Ð Ö Ú Ö ÓÜ Ñ º ÄÈ Ò Ð Ó Ù ØÓ Ö Ú Ö Ø ÔÓÐ Ö ØÝ Ó Ô ÓØÓÖ Ø Ñ Ù ØÓ Ø Ð Ø Ú ØÝ Ó ÔÓ Ø ÓÒº Ì Ú ÒØ Ó ÄÈ ÓÑÔ Ö ØÓ Ø ÔÐ Ñ ÓÜ Ø ÓÒ ÔÖÓ ÒÓØ Ö ÕÙ Ö Ò Ø ÔÓ Ø ÓÒ Ò Ø Ò Ó ÑÙÐØ ÔÐ Ð Ý Ö Ó ¹Ë Ò ÓÜ º ÁÒ Ø Ø Ö Ú Ö ÓÜ Ñ ÓÖÑ Ò Ò Ð ÔÓ Ø ÓÒ Ø Ô ÓÐÐÓÛ Ý Ö ÑÓÚ Ð Ó Ø Ô ÓØÓÖ Øº Ì ÔÓ Ð ØÝ Ó Ñ Ö Ú Ö Ð ÓÑ ÑÓÖ ÒØ Ö Ø Ò Û Ò ÓÑ Ò Û Ø ÓØ Ö ÔÓ Ø¹Ð Ø Ó Ö Ô Ý ÔÖÓ Ò Ó Ø Ô ÓØÓÖ Ø Ñ º Ò Ü ÑÔÐ Ó Ù ÔÖÓ Ò Ø ÒÒ Ò Ó Ô ÓØÓÖ Ø Ð Ò Ý ÓÜÝ Ò ÔÐ Ñ Ò º ÆÓÖÑ ÐÐÝ Ø Ð Ò Û Ø Ò ÓÔØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ý Ð Ñ Ø Ý Ø Û Ú Ð Ò Ø Ó Ø ÜÔÓ Ò Ö Ø ÓÒº ÀÓÛ Ú Ö Ø ÒÒ Ö Ð Ò Ò Ñ Ý ÓØÖÓÔ ÐÐÝ Ø Ò Ø ÓÖ Ò Ô ÓØÓÖ Ø Ò Ò ÓÜÝ Ò ÔÐ Ñ ÔÐ Ñ Ò µº Ì Ñ Ø Ó Û Ú ÐÓÔ Ý ÙÒ Ø Ðº ØÓ ÔÖÓ Ù ¼º¾ ññ ÅÇ˹ Ú Ù Ò g¹ð Ò λ Òѵ ÓÔØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ýº ËÙ ¹ ¼¹ÒÑ Ú Ú Ò ÑÓÒ ØÖ Ø Ý ÒÓ Ø Ðº Ò ÓÒ ÙÒØ ÓÒ Û Ø i¹ð Ò λ Òѵ Ò ¹ Ñ Ð Ø Ó Ö Ô Ýº Ì ÔÐ Ñ Ò ÔÖÓ Ö ØÖ Ø ØÓ Ð Ø¹ Ð ØÖÙØÙÖ Ð Ò Ò ÓØ µ ÓÒÐݺ Ö ¹ Ð ØÖÙØÙÖ ØÖ Ò Ò ÓÐ µ Ö Û Ò º º½µº ÀÓÛ Ú Ö Ñ Ö Ú Ö Ð Ò ÜØ Ò Ø ÔÖÓ ØÓ Ö ¹ Ð ØÖÙØÙÖ º ÌÓ ÑÓÒ ØÖ Ø Ø ¾ ññ Û Ô ÓØÓÖ Ø Ð Ò Û Ö Ø ÒÒ ØÓ ¾¼¼ ÒÑ Ò Ò ÓØÖÓÔ ÓÜÝ Ò ÔÐ Ñ º º º¾ ÓÛ Ù Ð Ò º Ê Ù ÖÓÑ Ø ÔÐ Ñ Ò ÔÖÓ Ö Ú Ð ÙÖÖÓÙÒ Ò Ø Ð Ò ÙØ Ø Ý Û Ö ÒÓØ ÓÙÒ ØÓ ÔÖ ÒØ ÔÖÓ Ð Ñ ÙÖ Ò SiO 2 ÔÓ Ø ÓÒº ¼

48 À ÈÌ Ê º ÁÅ Ê Î ÊË Ä ½ Light field Dark field pitch pitch oxide LPD photoresist removal ÙÖ º½ È ÓØÓÖ Ø Ø ÒÒ Ò Ý ÓÜÝ Ò ÔÐ Ñ Ò ÙÖ º¾ ¾¼¼ ÒÑ Û Ô ÓØÓÖ Ø Ð Ò ÔÖ Ô Ö Ý ÔÐ Ñ Ò

49 À ÈÌ Ê º ÁÅ Ê Î ÊË Ä ¾ Ø Ð Ó Ø ÔÐ Ñ Ò ÔÖÓ Ö ÔÖ ÒØ Ò ÔÔ Ò Ü º ÁØ ÑÙ Ø ÒÓØ Ø Ø Ø ÒÒ Ò Ô ÓØÓÖ Ø Ð Ò ÖÓÑ ¾ ññ ØÓ ¾¼¼ ÒÑ ÓÒ Ø ØÙØ ¼± Ö ÙØ ÓÒ Ò Ð Ò Û Ø Ò ÒÒÓØ ÜÔ Ø ØÓ Ö Ô Ø Ð ÔÖÓ º ÁÒ ÔÖ Ø ¼± Ö ÙØ ÓÒ Ñ Ý ÑÓÖ Ö Ð Ø º ÁÒ Ø ÛÓÖ ÙÐØ Ñ Ø ÐÝ Ø Ò Ð Ò Û Ö Ö Ø ÓÒÐÝ ØÓ ÑÓÒ ØÖ Ø Ø Ð ØÝ Ó Ñ Ö Ú Ö Ð Ý ÄÈ ÓÒ Ô Ù ¹Ñ ÖÓÒ Ð º ÁØ ÓÙÐ Ð Ó ÔÓ ÒØ ÓÙØ Ø Ø ÔÐ Ñ Ò Ø ÓÒÐÝ Ð Ò Û Ø ÒÓØ Ð Ò Ô Ø Ò ÖÓÑ º º½º Ì Ù Ò ÖÖ Ý Ó Ø Ò Ð Ò ÒÒÓØ Ö Ø Ý Ø ÔÖÓ º Æ ÜØ ¼ ÒÑ Ø ÄÈ ÓÜ Û ÔÓ Ø Ù Ò Ø Ø ÒÒ Ô ÓØÓÖ Ø Ô ØØ ÖÒ Ñ º Ì Ô ÓØÓÖ Ø Û Ò ÐÐÝ Ö ÑÓÚ Û Ø ØÓÒ Ò ÓÔÖÓÔ ÒÓÐ Ò Ò ÙÐØÖ ÓÒ Ø Ð Ú Ò ¾¼¼ ÒÑ Û ØÖ Ò Ò Ø ÓÜ º º µº Ì Ô ÖØ Ð Ò ÓÒ Ø ÑÔÐ ÙÖ Ö ÔÖÓ ÐÝ ÔÓ Ø ÙÖ Ò Ô ÓØÓÖ Ø Ö ÑÓÚ Ð Û Û ÓÒ ÓÙØ Ø Ð Ò ÖÓÓѺ Ë Ñ Ð Ö Ô ÖØ Ð Ö Ò Ò º º Ò Ö Ø Ø Û Ö Ñ ÙÖ Ò SiO 2 ÔÓ Ø ÓÒ Ó Ø Ý Ö ÒÓØ Ð Ú ØÓ ÔÖ Ô Ø Ø ÓÜ º ÙÖ º ¾¼¼ ÒÑ Û ØÖ Ò Ò ÄÈ ÓÜ ÁÑ Ö Ú Ö Ð Ý ÄÈ Û Ð Ó ØØ ÑÔØ Ù Ò ÈÅÅ Ñ Ô ØØ ÖÒ Ý Ð ØÖÓÒ¹ Ñ Ð Ø Ó Ö Ô Ýº ¾¼¼ ÒÑ Û ÓÔ Ò Ò Û Ö Ñ Ò Ø Ö ¹ Ð Ñ º Ì ÑÔÐ Û Ø Ò Ö ØÐÝ ÑÑ Ö Ò ÄÈ ÖÓÛØ ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ø Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ø ÈÅÅ Ñ Û Ö ÑÓÚ ÓÖ º º º ÓÛ ¾¼¼ ÒÑ Û ÓÜ Ð Ò Û ÙÖ Ø ÐÝ Ö ÔÖÓ Ù Ø ÓÖ Ò Ð Ô ØØ ÖÒº

50 À ÈÌ Ê º ÁÅ Ê Î ÊË Ä ÙÖ º SiO 2 Ð Ò ÓÖÑ Ý Ö Ú Ö Ð Ó Ä¹ Ò Ö ¹ Ð ØÖÙØÙÖ